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一种运动解耦的ＸＹ向精密定位平台，平台由基座、第一、第二音圈直线电机、第一、第二连接法兰、第一、第二直线轴承组件、工作平台和支撑平台组件组成，第一、第二音圈直线电机以正交方式分别通过第一连接法兰、第一直线轴承组件和第二连接法兰、第二直线轴承...
该专利属于东南大学所有，仅供学习研究参考，未经过东南大学授权不得商用。

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