【技术实现步骤摘要】
本技术属于半导体，特别涉及一种偏心校准治具及电镀设备。
技术介绍
1、在半导体的制备过程中，晶圆的上表面需要保持水平，以减小刻蚀、沉积和光刻等步骤中的误差，改善半导体器件的制造精度和性能。例如在电镀工艺中，电镀槽和电机的中轴线必须要在同一直线上，使电镀槽和电机保持同心转动，以在晶圆的上表面上形成均匀的金属膜。然而，目前校准电镀槽和电机是否保持同心时，依靠肉眼观察，从而容易出现校准结果不精确和不客观、以及校准过程耗时长等问题。
技术实现思路
1、本技术的目的在于提供一种偏心校准治具及电镀设备，能够提高偏心校准结果的精确性和客观性，且节约校准过程的用时，提高设备的稼动率。
2、为解决上述技术问题，本技术是通过以下技术方案实现的：
3、本技术提供一种偏心校准治具，至少包括：
4、固定基座，放置在待校准结构上；
5、多个连接杆，设置在所述固定基座的同一侧，且多个所述连接杆等距分布；以及
6、测距仪，设置在每个所述连接杆远离所述固定基座的一...
【技术保护点】
1.一种偏心校准治具，其特征在于，至少包括：
2.根据权利要求1所述的偏心校准治具，其特征在于，所述偏心校准治具还包括固定槽，所述固定槽与所述连接杆远离所述固定基座的一端连接。
3.根据权利要求1所述的偏心校准治具，其特征在于，所述偏心校准治具还包括定位槽，所述定位槽设置在所述固定基座靠近所述连接杆的一侧上。
4.根据权利要求3所述的偏心校准治具，其特征在于，所述连接杆包括第一分部，所述第一分部由所述定位槽向远离所述固定基座的方向上延伸。
5.根据权利要求4所述的偏心校准治具，其特征在于，所述连接杆包括第二分部，所述第二...
【技术特征摘要】
1.一种偏心校准治具，其特征在于，至少包括：
2.根据权利要求1所述的偏心校准治具，其特征在于，所述偏心校准治具还包括固定槽，所述固定槽与所述连接杆远离所述固定基座的一端连接。
3.根据权利要求1所述的偏心校准治具，其特征在于，所述偏心校准治具还包括定位槽，所述定位槽设置在所述固定基座靠近所述连接杆的一侧上。
4.根据权利要求3所述的偏心校准治具，其特征在于，所述连接杆包括第一分部，所述第一分部由所述定位槽向远离所述固定基座的方向上延伸。
5.根据权利要求4所述的偏心校准治具，其特征在于，所述连接杆包括第二分部，所述第二分部由所述第一分部远离所述固定基座的一段，...
【专利技术属性】
技术研发人员：陈正，陈锦，王洋，王玉杰，
申请(专利权)人：合肥晶合集成电路股份有限公司，
类型：新型
国别省市：
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