【技术实现步骤摘要】
本申请涉及半导体点胶机，尤其是一种基于压力协同调节的半导体点胶机输液稳定装置。
技术介绍
1、在半导体制造过程中，点胶工艺是关键环节之一，点胶的精度和稳定性直接影响半导体产品的质量和性能。目前，半导体点胶机大多采用电机推动隔膜的方式来实现液体的吐出。然而，在实际工作过程中，隔膜在电机推动下会产生形变，这种形变会导致液体吐出量出现偏差，难以保证液体吐出量的精确性，进而影响点胶质量，导致产品不良率上升。
2、现有技术中，隔膜的变形会导致液体凸出量出现偏差进而影响点胶质量，导致产品不良率上升。
3、为此我们提出一种基于压力协同调节的半导体点胶机输液稳定装置。
4、申请内容
5、本申请人针对上述现有生产技术中的缺点，提供一种基于压力协同调节的半导体点胶机输液稳定装置，从而。
6、本申请所采用的技术方案如下：
7、一种基于压力协同调节的半导体点胶机输液稳定装置，包括：
8、腔体；
9、超纯ptfe隔膜，设置在腔体内，超纯ptfe隔膜的一端与腔体固定连接
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【技术保护点】
1.一种基于压力协同调节的半导体点胶机输液稳定装置，其特征在于，包括：
2.如权利要求1所述的一种基于压力协同调节的半导体点胶机输液稳定装置，其特征在于：所述腔体(1)设置有与第二容纳腔(102)连通的连通口(107)，连通口(107)与压力补偿装置(6)连通，通过压力补偿装置(6)向第二容纳腔(102)内注入及抽出介质液。
3.如权利要求1所述的一种基于压力协同调节的半导体点胶机输液稳定装置，其特征在于：所述腔体(1)采用高刚度材料制成。
4.如权利要求1所述的一种基于压力协同调节的半导体点胶机输液稳定装置，其特征在于：所述介质液...
【技术特征摘要】
1.一种基于压力协同调节的半导体点胶机输液稳定装置，其特征在于，包括：
2.如权利要求1所述的一种基于压力协同调节的半导体点胶机输液稳定装置，其特征在于：所述腔体(1)设置有与第二容纳腔(102)连通的连通口(107)，连通口(107)与压力补偿装置(6)连通，通过压力补偿装置(6)向第二容纳腔(102)内注入及抽出介质液。
3.如权利要求1所述的一种基于压力协同调节的半导体点胶机输液稳定装置，其特征在于：所述腔体(1)采用高刚度材料制成。
4.如权利要求1所述的一种基于压力协同调节的半导体点胶机输液稳定装置，其特征在于：所述介质液为具有良好流动性和压力传递性能的液体。
5.如权利要求1所述的一种基于压力协同调节的半导体点胶机输液稳定装置，其特征在于：还包括控制系统，第一压力传感器(4)和第二压力传感器(5)将压力数据转化为电信号传输至控制系统，控制系统通过第一压力传感器(4)和第二压力传感器(5)的压力差值调节高精度电机(3)的推动行程。
6.如权利...
【专利技术属性】
技术研发人员：孙涛，王贝易，
申请(专利权)人：盛奕半导体科技无锡有限公司，
类型：发明
国别省市：
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