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本申请涉及一种基于压力协同调节的半导体点胶机输液稳定装置,包括腔体、超纯PTFE隔膜和高精度电机;超纯PTFE隔膜设置在腔体内;高精度电机与腔体一端固定连接;腔体内部被超纯PTFE隔膜分成第一容纳腔和第二容纳腔,腔体设置有与第一容纳腔相连通...该专利属于盛奕半导体科技(无锡)有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过盛奕半导体科技(无锡)有限公司授权不得商用。
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