一种用于分子泵叶片表面积聚污物的清洗装置制造方法及图纸

本发明专利技术涉及叶片清洗的技术领域，公开了一种用于分子泵叶片表面积聚污物的清洗装置，包括水箱座，还包括设置在水箱座顶部的封闭壳，设置在水箱座一侧的清洗单元，泵体包括固定连接在两个支撑架之间的电机转子，同时清洗单元通过挤压件使得电磁铁带动电机转子摆动，采用在密封卫生环境中对定子进行完全清洗，并随后自动组装完全密封的方式，有效提高清洗效率和质量，降低污染风险。通过封闭壳保证密封，配合电磁铁，使得电机转子和定子的分离和清洗后的组装均在封闭壳内完成，能够使得电磁铁带动对应的定子到达两个相对独立的空间，从而使得定子在清洗时，可以避免外界污染物的干扰，使得清洗过程更加高效，更有效地去除污垢和杂质。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及叶片清洗的，尤其涉及一种用于分子泵叶片表面积聚污物的清洗装置。

技术介绍

1、分子泵是一种利用高速旋转的转子将动量传递给气体分子，使其获得定向速度并被压缩、驱向排气口的真空泵，分子泵主要由定子和转子两部分组成，定子是分子泵中的静止部分，通常由多个半圆盘叶片组成，转子是分子泵中的旋转部分。

2、但现有技术中，分子泵在抽除气体时，气体中含有的粉尘污染，而分子泵转子叶片始终处于旋转，导致这些粉尘大多会积聚在定子叶片上，导致叶片磨损或堵塞出现故障时，进而会将其拆除，让专业人员来上门进行维护或寄送给厂家维护，部分厂家在收到分子泵时，就会对分子泵进行清洗处理，而分子泵叶片的清洗方法，主要依赖于人工冲洗，人工将分子泵外部的保护壳拆除后，再逐步拆除多个且拼合在一起的定子，将定子放入水池中统一进行清洗处理，随后再继续烘干，对转子进行简单的冲洗，最后再手动将定子转子组合，而这种方式不仅操作繁琐，且耗时耗力，同时需要人工手部及工作台要求极高，增加了操作的复杂性，难以完全避免污染，并且多个定子一起进行清洗，会导致清洗掉的污染物相互影响，另一种常见的清洗方本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种用于分子泵叶片表面积聚污物的清洗装置，包括水箱座（1），其特征在于：还包括设置在水箱座（1）顶部的封闭壳（2），卡接在封闭壳（2）顶部的顶壳（3），设置在水箱座（1）一侧的清洗单元（4），转动连接在封闭壳（2）内部的双向滚轴（5），设置有两个且滑动连接在双向滚轴（5）外部的传动杆（6），滑动连接在传动杆（6）内部的联动杆（7），滑动连接在联动杆（7）内部的伸缩架（8），位于伸缩架（8）下方且滑动连接在水箱座（1）内部挤压件（9），设置在伸缩架（8）一侧的电磁铁（10），设置有两个其分别位于电磁铁（10）顶端两侧的转轴（11），连接在转轴（11）和伸缩架（8）之间的限位扭簧（12）...

【技术特征摘要】

1.一种用于分子泵叶片表面积聚污物的清洗装置，包括水箱座（1），其特征在于：还包括设置在水箱座（1）顶部的封闭壳（2），卡接在封闭壳（2）顶部的顶壳（3），设置在水箱座（1）一侧的清洗单元（4），转动连接在封闭壳（2）内部的双向滚轴（5），设置有两个且滑动连接在双向滚轴（5）外部的传动杆（6），滑动连接在传动杆（6）内部的联动杆（7），滑动连接在联动杆（7）内部的伸缩架（8），位于伸缩架（8）下方且滑动连接在水箱座（1）内部挤压件（9），设置在伸缩架（8）一侧的电磁铁（10），设置有两个其分别位于电磁铁（10）顶端两侧的转轴（11），连接在转轴（11）和伸缩架（8）之间的限位扭簧（12），固定连接在联动杆（7）顶部的导线壳（13），设置有两个且位于水箱座（1）内部的支撑架（14），以及固定卡接在支撑架（14）内部的泵体（15），所述联动杆（7）和伸缩架（8）两者滑动方向垂直，两个所述传动杆（6）和支撑架（14）均关于水箱座（1）中轴线对称，所述导线壳（13）的顶端滑动连接在水箱座（1）的内部，所述支撑架（14）位于两个电磁铁（10）之间，所述泵体（15）包括固定连接在两个支撑架（14）之间的电机转子（151），以及套接在电机转子（151）底部外侧的定子（152），所述电磁铁（10）用于吸附定子（152），所述清洗单元（4）用于清洗电机转子（151）和定子（152），同时所述清洗单元（4）通过挤压件（9）使得电磁铁（10）带动电机转子（151）摆动。

2.根据权利要求1所述的用于分子泵叶片表面积聚污物的清洗装置，其特征在于：所述封闭壳（2）的外部固定设置有烘干器（21）和驱动电机（22），所述驱动电机（22）输出端与双向滚轴（5）固定连接，所述封闭壳（2）一侧滑动连接有开合门（23），所述封闭壳（2）的顶部开设有两个导向槽口（24），两个所述导向槽口（24）关于水箱座（1）中轴线对称，所述导向槽口（24）靠近泵体（15）的一段为直段（241）。

3.根据权利要求2所述的用于分子泵叶片表面积聚污物的清洗装置，其特征在于：所述传动杆（6）开设有直槽口（61），所述联动杆（7）靠近传动杆（6）的一侧设置有滑套（71），所述滑套（71）滑动连接在直槽口（61）的内部，所述封闭壳（2）的内部设置有限位条（201），所述传动杆（6）的一端与双向滚轴（5）滑动连接，所述传动杆（6）的另一端滑动连接在限位条（201）的外部。

4.根据权利要求2所述的用于分子泵叶片表面积聚污物的清洗装置，其特征在于：所述伸缩架（8）包括设置在联动杆（7）一侧的支撑杆（81），设置有两个分别位于支撑杆（81）两端的回位弹簧（82），以及设置有两个连接在支撑杆（81）和联动杆（7）之间的稳定杆（83），所述回位弹簧（82）滑动连接在联动杆（7）的内部，所述...

【专利技术属性】
技术研发人员：王贝易，沈玉柱，赵方乐，
申请(专利权)人：盛奕半导体科技无锡有限公司，
类型：发明
国别省市：