【技术实现步骤摘要】
本技术涉及半导体制造，特别是涉及一种碳化硅腔室石墨件保养用的转运装置。
技术介绍
1、在半导体制造领域，碳化硅腔室石墨件的好坏直接关系到半导体产品的质量和性能。石墨件因其自身的特殊性，对搬运、保养和存储提出了极高的要求。石墨件保养时需要转运至保养车间进行保养，在转运过程中，稍有不慎就可能因磕碰导致石墨件受损，一方面影响石墨件使用寿命，缩短了更换新部件的时间，不仅耗费时间，而且还增加企业经济负担。另一方面，如果在半导体制造过程中使用了受损的石墨件可能会导致产品性能不稳定，甚至出现次品，影响半导体制造的质量。
2、因此，急需一种碳化硅腔室石墨件保养用的转运装置来解决上述技术问题。
技术实现思路
1、本技术旨在解决上述技术问题，即，解决现有石墨件在转运过程中，容易与转运装置发生磕碰导致石墨件受损而产生的以下问题，第一，石墨件受损影响石墨件使用寿命，缩短了更换新部件的时间，不仅耗费时间，而且还增加企业经济负担；第二，如果在半导体制造过程中使用了受损的石墨件可能会导致产品性能不稳定，甚至...
【技术保护点】
1.一种碳化硅腔室石墨件保养用的转运装置，其特征在于，包括转运车、转运模具和防护盖，所述转运车上设有至少两个呈上下排列的托盘，每个所述托盘内放置一个所述转运模具，每个所述转运模具上设有多个用于放置不同类型石墨件且与其形状匹配的容纳槽，所述容纳槽与其内的石墨件处于贴合状态，每个所述转运模具上覆盖有一个防护盖以将容纳槽盖住。
2.根据权利要求1所述的碳化硅腔室石墨件保养用的转运装置，其特征在于，所述转运模具包括转运板和多个根据石墨件形状设计的保护垫，所述转运板上设有多个所述容纳槽，每个所述容纳槽的内腔中铺设有具有弹性的所述保护垫，所述石墨件放置在容纳槽内时与保
<...【技术特征摘要】
1.一种碳化硅腔室石墨件保养用的转运装置，其特征在于，包括转运车、转运模具和防护盖，所述转运车上设有至少两个呈上下排列的托盘，每个所述托盘内放置一个所述转运模具，每个所述转运模具上设有多个用于放置不同类型石墨件且与其形状匹配的容纳槽，所述容纳槽与其内的石墨件处于贴合状态，每个所述转运模具上覆盖有一个防护盖以将容纳槽盖住。
2.根据权利要求1所述的碳化硅腔室石墨件保养用的转运装置，其特征在于，所述转运模具包括转运板和多个根据石墨件形状设计的保护垫，所述转运板上设有多个所述容纳槽，每个所述容纳槽的内腔中铺设有具有弹性的所述保护垫，所述石墨件放置在容纳槽内时与保护垫贴合。
3.根据权利要求2所述的碳化硅腔室石墨件保养用的转运装置，其特征在于，所述保护垫采用硅胶材质制成。
4.根据权利要求3所述的碳化硅腔室石墨件保养用的转运装置，其特征在于，所述保护垫的内壁上一体成型有多个均匀分布的凸起，所述凸起与放置在容纳槽内的石墨件贴合。
5.根据权利要求1所述的碳化硅腔室石墨件保养用的转运装置，其特征在于，所述托盘上设有放置槽，所述转运模具放置在所述放置槽内，所述放置槽的至少一个侧壁上设有中心线呈水平设置的螺纹孔，所述螺纹孔内螺纹连接有定位螺栓，所述转运模具的侧壁上设有与螺纹孔对应的插孔，所述定位螺栓在转运模具放置在放置槽内时能够插进对应的插孔内。
6.根据权利要求1所述的碳化硅腔室石墨件保养用的转运装置，其特征在于，所述转运车的顶端固定有呈水平状态的操作平台。
7.根据权利要求1所述的碳化硅腔室石墨件保养用的转运装置，其特征在于，所述转运车上安装有振动检测模块，所述振动检测模块包括电源模块、振动传感器、报警器和控制器，所述电源模块向所述控制器提供电源，所述振动传感器和报警器均与所述控制器连接。
...【专利技术属性】
技术研发人员：吴开行，吕威，余乐俊，陈豪杰，周辜名，
申请(专利权)人：海南大学三亚研究院，
类型：新型
国别省市：
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