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本技术公开了一种碳化硅腔室石墨件保养用的转运装置，包括转运车、转运模具和防护盖，转运车上设有至少两个呈上下排列的托盘，每个托盘内放置一个转运模具，每个转运模具上设有多个用于放置不同类型石墨件且与其形状匹配的容纳槽，容纳槽与其内的石墨件处于贴...
该专利属于海南大学三亚研究院所有，仅供学习研究参考，未经过海南大学三亚研究院授权不得商用。

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