悬浮输送装置制造方法及图纸

本发明专利技术公开一种通过流体使具有下表面的对象物悬浮并输送用的悬浮输送装置。所述悬浮输送装置具有：一个以上的基部，划分出所述流体通过的小室，分别具有平面状的上表面和喷出孔，该喷出孔形成为在所述上表面具有开口部，并配置成可在所述开口部包围的所述上表面的区域和所述对象物的所述下表面之间形成使所述流体产生均匀压力的空间，至少在所述上表面附近向所述区域的内部倾斜，用于与所述小室连通而喷出所述流体；流体供给装置，对所述流体施压从而向所述小室供给所述流体；读取装置，读取从由所述对象物的悬浮高度、品种所构成的组中选择的信息；控制装置，对所述流体供给装置进行控制，使得与所述读取装置所读取的所述信息对应地调节所述悬浮高度；以及输送装置，用于输送所述对象物。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】
本专利技术涉及使用压縮空气等的流体一边使对象物悬浮一边进行输送的悬浮输送装置。
技术介绍
在现有技术中揭示有多种通过使用压縮空气等的流体来将对象物悬浮的同时进 行输送的悬浮输送装置。这些悬浮输送装置典型地是具备悬浮装置，该悬浮装置具有使空 气等的流体通过的喷嘴。向悬浮装置和对象物之间喷出的空气等的流体发生压力，对象物 通过该压力悬浮，并接受输送装置的驱动力而被输送。相关技术记载于日本专利申请公开 公报2006-182563号中。 现有的悬浮输送装置，因缺乏改变控制对象物悬浮高度的能力，从而由于对象物 形状或性质，担心对象物与悬浮装置等接触。
技术实现思路
本专利技术的目的在于提供一种可通过控制对象物的高度来防止对象物与悬浮装置 接触的悬浮输送装置。 本专利技术的第一方案提供一种悬浮输送装置，用于通过流体使具有下表面的对象物 悬浮并进行输送，所述悬浮输送装置具有 —个以上的基部，划分所述流体通过的小室，且分别具有平面状的上表面和喷出孔，该喷出孔形成为在所述上表面具有开口部，并配置成可在所述开口部包围的所述上表面的区域和所述对象物的所述下表面之间形成使所述流体发生均匀压力的空间，至少在所述上表面附近向所述区域的内部倾斜，用于与所述小室连通而喷出所述流体； 流体供给装置，对所述流体施压从而向所述小室供给所述流体； 读取装置，读取从由所述对象物的悬浮高度、所述对象物的品种所构成的组中选择的信息； 控制装置，对所述流体供给装置进行控制，使得与所述读取装置所读取的所述信息对应地调节所述悬浮高度； 输送装置，用于输送所述对象物。 优选为，所述控制装置具有处理器，所述处理器将所述控制作为使所述悬浮高度为固定的反馈控制而进行。 或者优选为，所述控制装置具有 存储装置，用于存储多个品种、和分别与所述品种对应的多个控制规则； 处理器，通过将所读取的所述信息与所存储的所述多个品种对照来读取所述多个控制规则中的一个，并与所述一个控制规则对应地进行所述控制。附图说明 图1是表示根据本专利技术第一实施方式的悬浮输送装置的概略性的正视图。 图2是表示所述悬浮输送装置的控制的流程图。 图3是表示供给的流量和对象物的悬浮量的关系的图表。 图4是表示根据本专利技术第一实施方式或第二实施方式的悬浮输送装置的部分俯 视图。 图5是表示图4的V-V线的部分剖视图。 图6是表示所述悬浮输送装置所具有的悬浮装置的俯视图。 图7表示沿图6的VII-VII线取得的部分剖视图。 图8是表示沿图6的VIII-VIII线取得的部分剖视图。 图9是表示本专利技术第二实施方式的悬浮输送装置的概略性的正视图。 图10是表示所述悬浮输送装置的控制的流程图。具体实施例方式以下结合附图对本专利技术的实施方式进行说明。在本说明书、权利要求书及附图中， 前方、后方、左方及右方在图中分别定义为以FF、FR、L及R标记的方向。这些定义仅为方便 说明而举，本专利技术并不限于这些内容。 第一实施方式 根据本专利技术第一实施方式的悬浮输送装置l，如图1及图4所示，是用于使对象物 W向垂直方向悬浮后向水平输送方向(例如后方FR)输送的装置。作为对象物W，优选为全 体呈平面状的比较薄的物体，例如LCD(液晶显示器)用的玻璃基板等的薄板。对象物W无 需全体呈平面状，只需对象物W下表面的至少一部分呈平面状即可。为使对象物W悬浮，利 用例如空气那样的流体。 对象物W是需要在LCD用的薄玻璃基板等的无尘环境下输送的物品的情况下，所 述悬浮输送装置1可在洁净室内等的清洁环境下使用。 如图1、图4及图5所示，悬浮输送装置1具备向前后方向延伸的基台3 ;在基台 3上沿前后方向形成列的输送装置5 ;以及在基台3上沿前后方向及左右方向的两方向形成 列的多个悬浮装置7。在悬浮装置7上连接有作为用于供给流体的流体供给装置而供给压 縮空气的气体供给装置9。也可以利用氮气或氩气等的其他气体、或液体等的其他流体，来 代替压縮空气。 输送装置5在基台3的左端及右端附近具有在对象物W的输送方向分别形成列的 多个辊11。各辊11分别通过旋转轴lis与蜗轮15 —体连接，利用支架13旋转自如地支 撑。为了在前后方向贯穿基台3，具备一对驱动轴17，各驱动轴17具有可与各蜗轮15驱动 地啮合的蜗杆19。在各驱动轴17的前端，通过联轴器等与马达21的输出轴21s可驱动地 连接。这样，各辊11受到马达21的驱动力而以相同转速旋转。如图5所示，所述各辊11 的上端部配置成比所述悬浮装置7的上表面稍微向上方突出而在单一面上对齐。对象物W 即使处于悬浮的状态，也能如图5所示地与辊11接触而受到驱动力。 马达21无需设置一对，也可以是两个驱动轴17通过链等的适当的连接机构与单 一马达连接。并且，也可以是将可驱动的夹持器或带式输送机等的输送机构应用于输送装置5来代替辊。 参照图3 图5，各悬浮装置7具有基部25，各基部25通过托架27固定在基台3 上。各基部25在其内侧划分出小室29，该小室29用于使从气体供给装置9供给的压縮空 气暂时通过。 基部25在其上部中央具有矩形的岛形部件33以便覆盖小室29。基部25还具有 下部外围部件31和固定在该下部外围部件31上的上部外围部件35。下部及上部外围部件 31、35包围岛形部件33，在其中间留有与小室29连通而使得压縮空气通过的间隙。以下将 下部及上部外围部件31、35和岛形部件33划分出的该间隙称为喷出孔39。 参照图6 图8，喷出孔39是矩形缝隙。在喷出孔39，被下部外围部件31的内周 与岛形部件33的外周包围的部分处于大致垂直立起的状态。另一方面，上部外围部件35 的内周35a向内部倾斜，在岛形部件33的外周与之对应的上部33a也向内部倾斜。 为了上部33a和内周35a的上述倾斜，在喷出孔39中，被上部33a和内周35a划分 的部分、即悬浮装置7的上表面附近，喷出孔39向内部倾斜。在几乎没有朝向内部的倾斜 的情况下、即垂直的情况下，如图3的比较例所示，如果压縮空气的流量为一定程度以上， 则对象物W悬浮的高度几乎不依赖压縮空气的流量。S卩、即使控制压縮空气的流量，也难以 控制对象物W的悬浮高度。在朝向内部的倾角为0。以上的情况下，特别是45。以上的情 况下，如图3的实施例所示，压縮空气的流量越多对象物W的悬浮高度越高。因此，环状且 朝向内部倾斜的喷出孔39通过压縮空气的流量控制来提供对象物W的悬浮高度的控制性。 该倾向随着倾斜越大而越明显，但由于该倾斜过大时会导致上部外围部件35的制作困难， 因此倾角优选为例如45。，但并不限于此。 喷出孔39并不限于矩形的环状，也可以是椭圆形的环状、或者环的一部分闭塞的 形状、或者排列成矩形的环状的多个通孔等的其他各种形状。岛形部件33也可以具备突起 37，以使喷出孔39的幅度均等。并且，也可以代替岛形部件33，上部外围部件35具有突起 37。 优选为，岛形部件33的上表面和上部外围部件35的上表面对齐成单一的平面。并 且，优选为，多个悬浮装置7对齐成，使得所述已对齐的上表面彼此进一步形成单一平面。 这些有利于稳定对象物W悬浮高度。 参照图4，各悬浮装置7的各小室29通过配管41相互连通，并且与气体供给装置 9连通。 气体供给装置9具备送风机43，通过配管41将压縮空本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种悬浮输送装置，用于通过流体使具有下表面的对象物悬浮并输送，其特征在于，具有：一个以上的基部，划分所述流体通过的小室，且分别具有呈平面状的上表面和喷出孔，该喷出孔形成为在所述上表面具有开口部，并配置成可在所述开口部包围的所述上表面的区域和所述对象物的所述下表面之间形成使所述流体产生均匀压力的空间，至少在所述上表面附近向所述区域的内部倾斜、用于与所述小室连通而喷出所述流体；流体供给装置，对所述流体施压从而向所述小室供给所述流体；读取装置，读取从由所述对象物的悬浮高度、所述对象物的品种所构成的组中选择的信息；控制装置，对所述流体供给装置进行控制，使得与利用所述读取装置读取的所述信息对应地调节所述悬浮高度；以及输送装置，用于输送所述对象物。

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】...

【专利技术属性】
技术研发人员：平田贤辅，长谷川文夫，田中刈入，
申请(专利权)人：株式会社IHI，
类型：发明
国别省市：JP[日本]