晶圆盒制造技术

本申请涉及晶圆储放技术领域，具体公开了一种晶圆盒，包括第一盖体和第二盖体；第一盖体与第二盖体扣合形成容纳腔；容纳腔内层叠放置有多个晶圆托盘，每个晶圆托盘上形成用于容置晶圆片的圆形沉台，圆形沉台侧壁上开设有沿径向延伸的晶圆取放槽。本申请方便对晶圆片进行快速取放，有效降低晶圆片破碎风险。

【技术实现步骤摘要】

本申请涉及晶圆储放，具体而言，涉及一种晶圆盒。

技术介绍

1、通常采用晶圆盒储放晶圆片，尤其是对于厚度在0.09-0.12mm的超薄晶圆片，将晶圆片放置在晶圆盒内能够降低晶圆片破碎的风险。现有技术提供的晶圆盒由上盖和下盖扣合形成，在装入晶圆片时，先在晶圆盒的下盖内放泡沫垫，然后再将隔离片与晶圆片交替层叠放置，最后盖合晶圆盒的上盖。比较麻烦的是在取出晶圆片时，需要将晶圆盒整体翻过来，打开晶圆盒后再用夹子夹取晶圆片。该过程容易使得晶圆片破碎，导致生产成本上升。

技术实现思路

1、本申请的目的在于提供一种晶圆盒，其方便晶圆片进行快速取放，有效降低晶圆片破碎风险。

2、本申请的实施例是这样实现的：

3、本申请实施例提供了一种晶圆盒，包括第一盖体和第二盖体；第一盖体与第二盖体扣合形成容纳腔；容纳腔内层叠放置有多个晶圆托盘，每个晶圆托盘上形成用于容置晶圆片的圆形沉台，圆形沉台侧壁上开设有沿径向延伸的晶圆取放槽。

4、作为一种可选的实施方式，第一盖体和/或第二盖体上设有沿晶圆片径向延伸的本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种晶圆盒(100)，其特征在于，包括第一盖体(101)和第二盖体(102)；所述第一盖体(101)与第二盖体(102)扣合形成容纳腔(103)；所述容纳腔(103)内层叠放置有多个晶圆托盘(104)，每个所述晶圆托盘(104)上形成用于容置晶圆片的圆形沉台(105)，所述圆形沉台(105)侧壁上开设有沿径向延伸的晶圆取放槽(106)。

2.根据权利要求1所述的晶圆盒(100)，其特征在于，所述第一盖体(101)和/或第二盖体(102)上设有沿晶圆片径向延伸的凸出部(114)；所述凸出部(114)内设有延伸方向与所述晶圆片垂直的U型槽(107)，所述U型槽(107)的开口...

【技术特征摘要】

1.一种晶圆盒(100)，其特征在于，包括第一盖体(101)和第二盖体(102)；所述第一盖体(101)与第二盖体(102)扣合形成容纳腔(103)；所述容纳腔(103)内层叠放置有多个晶圆托盘(104)，每个所述晶圆托盘(104)上形成用于容置晶圆片的圆形沉台(105)，所述圆形沉台(105)侧壁上开设有沿径向延伸的晶圆取放槽(106)。

2.根据权利要求1所述的晶圆盒(100)，其特征在于，所述第一盖体(101)和/或第二盖体(102)上设有沿晶圆片径向延伸的凸出部(114)；所述凸出部(114)内设有延伸方向与所述晶圆片垂直的u型槽(107)，所述u型槽(107)的开口朝向容纳腔(103)且中部空间与所述容纳腔(103)连通。

3.根据权利要求2所述的晶圆盒(100)，其特征在于，所述晶圆托盘(104)上设有托盘取放部(108)，所述托盘取放部(108)沿所述晶圆片径向凸出并插入所述u型槽(107)中。

4.根据权利要求3所述的晶圆盒(100)，其特征在于，所述u型槽(107)两侧内壁形成与所述托盘取放部(108)接触的阻挡面(109)，用以形成阻挡所述晶圆托盘(104)沿所述晶圆片中心转动的作用力。

5.根据权利要求1-4任一项所述的晶圆盒(100)，其特征在于，所述第一盖体(101)和/或第二盖体(102)内壁设置有绕所述晶圆托盘(104)周向间隔排布的侧向限位部(110)；所述侧向限位部(110)与所述晶圆托盘(1...

【专利技术属性】
技术研发人员：洪巧水，朱明伟，刘小波，
申请(专利权)人：荣耀电子材料重庆有限公司，
类型：新型
国别省市：