【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】
本专利技术通常涉及将润滑剂涂层沉积在硬磁盘上用的设施，并且更具体地，涉及这 样一种设施，其包括由承载将要用源自蒸汽的润滑剂涂层涂覆的硬磁盘的盒子所横过的路 径，其中所述路径具有至少一个90°转弯。本专利技术的又一方面涉及将润滑剂涂层沉积在硬 磁盘上的设施，其中所述设施包括在真空环境中基本上同时将润滑剂涂层沉积在多个硬磁 盘上的布置。本专利技术的另一方面涉及将润滑剂涂层真空沉积在硬磁盘上的设施，其中承载 硬磁盘的多个盒子同时定位于装载和/或卸载真空锁中。本专利技术的附加方面涉及将润滑剂 涂层真空沉积在硬磁盘上的设施，其中承载硬磁盘的多个盒子同时定位于装载真空锁和用 来将蒸汽润滑剂涂层沉积在硬磁盘上的模块之间的缓冲地带中。本专利技术的另一个方面涉及 将润滑剂涂层沉积在硬磁盘上用的设施，其中这个段落中前面阐明的特点结合起来。
技术介绍
Hughes等的美国专利6，183，831 (通过参考结合于此)公开了一种通过在真空环 境中将蒸汽(也就是，气态的)形式的润滑剂施加至硬磁盘的磁性层来用润滑剂薄膜涂覆 硬磁盘用的设施。润滑剂优选地是如美国专利5，776，577中公开的全...
【技术保护点】
一种将润滑剂涂层沉积在适合装载于盒子中的硬磁盘上用的设施，所述设施包括用来将盒子传送穿过一路径的装置，所述路径包括：（ａ）真空装载锁，（ｂ）真空卸载锁，以及（ｃ）用来将润滑剂蒸汽沉积到硬磁盘上的真空处理模块，所述处理模块布置为使得沉积的润滑剂蒸汽能在硬磁盘上形成润滑剂涂层，所述处理模块位于真空装载锁和卸载锁之间，所述路径布置为至少一次将盒子转动大约９０°。
【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】US 2007-4-20 11/737,807一种将润滑剂涂层沉积在适合装载于盒子中的硬磁盘上用的设施，所述设施包括用来将盒子传送穿过一路径的装置，所述路径包括(a)真空装载锁，(b)真空卸载锁，以及(c)用来将润滑剂蒸汽沉积到硬磁盘上的真空处理模块，所述处理模块布置为使得沉积的润滑剂蒸汽能在硬磁盘上形成润滑剂涂层，所述处理模块位于真空装载锁和卸载锁之间，所述路径布置为至少一次将盒子转动大约90°。2.根据权利要求1的设施，其中真空装载锁和真空卸载锁中的至少一个是布置为将盒 子转动90°的路径的一部分。3.根据权利要求2的设施，其中装载锁包括分别位于装载锁的入口和出口区域处的第 一和第二阀，卸载锁包括分别位于卸载锁的入口和出口区域处的第三和第四阀，装载锁布 置为使得多个盒子能同时处于第一和第二阀之间，卸载锁布置为使得多个盒子能同时处于 第三和第四阀之间。4.根据权利要求3的设施，其中所述路径包括多个处理模块，这些处理模块布置为将 润滑剂蒸汽同时沉积在最初装载入多个盒子中的多个硬磁盘上。5.根据权利要求4的设施，其中所述路径包括在装载锁的第二阀与第一个处理模块之 间的多个缓冲模块，所述多个缓冲模块布置为使得多个盒子能同时处于所述多个缓冲模块 中。6.根据权利要求2的设施，其中装载和卸载锁都布置为将盒子转动大约90°。7.根据权利要求2的设施，其中装载锁布置为将盒子转动大约90°。8.根据权利要求2的设施，其中卸载锁布置为将盒子转动大约90°。9.根据权利要求1的设施，其中装载锁包括分别位于装载锁的入口和出口区域处的第 一和第二阀，所述路径还包括在装载锁的第二阀和处理模块之间的多个缓冲模块，所述多 个缓冲模块布置为使得多个盒子能同时处于所述多个缓冲模块中。10.根据权利要求1的设施，其中所述路径包括多个处理模块，所述处理模块布置为将 润滑剂蒸汽同时沉积在最初装载入多个盒子中的多个硬磁盘上。11.一种将润滑剂涂层沉积在适合装载入盒子中的硬磁盘上用的设施，所述设施包括 用来将盒子传送穿过一路径的布置，所述路径包括(a)真空装载锁，(b)真空卸载锁，以及 (c)多个真空处理模块，其布置为将润滑剂蒸汽基本上同时沉积到最初装载入多个盒子中 的多个硬磁盘上，所述多个处理模块布置为使得沉积的润滑剂蒸汽能在硬磁盘上形成润滑 剂涂层，所述处理模块位于真空装载锁和卸载锁之间。12.—种将润滑剂涂层沉积在适合装载入盒子中的硬磁盘上用的设施，所述设施包括 将盒子传送穿过一路径的布置，所述路径包括(a)真空装载锁，(b)真空卸载锁，以及(c) 用来将润滑剂蒸汽沉积在硬磁盘上的真空处理模块，所述处理模块布置为使得沉积的润滑 剂蒸...
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