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一种将润滑剂涂层沉积在硬磁盘上用的设施，包括装载和卸载真空锁，其中承载将用润滑剂涂层涂覆的硬磁盘的盒子被转动９０°。润滑剂涂层在处理模块中同时沉积在多个硬磁盘上。承载硬磁盘的多个盒子同时定位于装载和卸载真空锁中。承载硬磁盘的多个盒子同时定位...
该专利属于因特瓦克公司所有，仅供学习研究参考，未经过因特瓦克公司授权不得商用。

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