【技术实现步骤摘要】
本技术涉及静电吸附，尤其涉及一种高反光静电吸附装置。
技术介绍
1、在oled面板制作中，为了使设备的ccd能捕捉到产品的标志点，需要静电吸盘能透光。现有技术中透光的静电吸盘的应用场景如图1所示。
2、透光的静电吸盘在oled面板制作中的应用场景涉及产品的精确定位和标志点的识别。在这个过程中，光源从基座底部发出光束，光束需要透射穿过透光的lens以及基座上的静电吸附层(包括绝缘层、电极层和介电层)，以照亮产品内部的检测标记，从而便于设备的ccd捕捉和识别检测标记，进而指导设备进行精确的操作。
3、目前采用的技术有以下缺陷：
4、由于目前的技术制造限制，透光lens与基座由两种不同的材料制成，在制造过程中材料的差异会导致透光lens与基座交界处的平整度难以保证。而透光lens与基座交界处的平整度对整个静电吸盘的平整度有很大影响，而静电吸盘的平整度对于oled产品的制造工艺至关重要，不平整的静电吸盘可能会导致oled面板在固定时产生变形，从而影响产品的质量和性能。
5、同时，由于透光lens和...
【技术保护点】
1.一种高反光静电吸附装置，包括基座以及贴附在基座上用于吸附待检测产品的静电吸盘，其特征在于：
2.根据权利要求1所述的静电吸附装置，其特征在于，所述电极层具有用于避空反射层的避让空间，所述避让空间配置在反射层下方，以防止所述反射层对电极层产生静电屏蔽。
3.根据权利要求1所述的静电吸附装置，其特征在于，所述反射层为上表面配置成反光面的薄片。
4.根据权利要求1所述的静电吸附装置，其特征在于，所述反射层为上表面配置为反光金属镀层的薄片。
5.根据权利要求1或2或3或4所述的静电吸附装置，其特征在于，所述静电吸盘还包括配置...
【技术特征摘要】
1.一种高反光静电吸附装置，包括基座以及贴附在基座上用于吸附待检测产品的静电吸盘，其特征在于：
2.根据权利要求1所述的静电吸附装置，其特征在于，所述电极层具有用于避空反射层的避让空间，所述避让空间配置在反射层下方，以防止所述反射层对电极层产生静电屏蔽。
3.根据权利要求1所述的静电吸附装置，其特征在于，所述反射层为上表面配置成反光面的薄片。
4.根据权利要求1所述的静电吸附装置，其特征在于，所述反射层为上表面配置为反光金属镀层的薄片。
5.根据权利要求1或2或3或4所述的静电吸附装置，其特征在于，所述静电吸盘还包括配置在所述...
【专利技术属性】
技术研发人员：陈高龙，
申请(专利权)人：成都骏创科技有限公司，
类型：新型
国别省市：
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