【技术实现步骤摘要】
本技术涉及开盖机械机构，特别涉及一种碳化硅长晶设备开盖机械机构。
技术介绍
1、碳化硅长晶设备是用于生产高质量碳化硅晶体的重要设备，这种晶体在半导体、光电器件、功率器件及高温高频应用中受到广泛关注，因其优异的电气及热性能，碳化硅的晶体生长通常需要在高温和特定气氛下进行，在生长过程中，设备的上盖需要定期开启，以便于物料的添加、气氛的调整、样品的观察以及其他工作流程，现有的结构通常通过人工开启，但高温可能会对操作人员造成损害，威胁了操作人员的人身安全，现有的装置不能自动地控制盖体打开与关闭，实现高精度的开闭动作，不能减少操作人员与高温、高压环境的直接接触，不能确保盖体在开闭过程中不会产生震动或倾斜，保持整体结构的稳定性。
技术实现思路
1、本技术的目的在于至少解决现有技术中存在的技术问题之一，提供一种碳化硅长晶设备开盖机械机构，通过电机、转动轴、连接杆与铰链的配合，可以自动地控制盖体打开与关闭，可以减少人工操作时间，可以实现高精度的开闭动作，确保盖体的闭合紧密性，减少了操作人员与高温、高压环境...
【技术保护点】
1.一种碳化硅长晶设备开盖机械机构，其特征在于，包括：釜体(1)，所述釜体(1)的外表面固定连接有铰链(2)，所述铰链(2)的另一端固定连接有盖体(3)，所述釜体(1)的外表面固定连接有安装基座(4)，所述安装基座(4)的下表面固定连接有电机(5)，所述电机(5)的输出端的固定连接有转动轴(6)，所述转动轴(6)的下表面固定连接有连接杆(7)，所述连接杆(7)远离转动轴(6)的一端与铰链(2)固定连接，所述釜体(1)的外表面固定连接有第一安装板(8)，所述第一安装板(8)的外表面固定连接有第一万向节(9)，所述第一万向节(9)的另一端固定连接有伸缩杆(10)，所述盖体...
【技术特征摘要】
1.一种碳化硅长晶设备开盖机械机构，其特征在于，包括：釜体(1)，所述釜体(1)的外表面固定连接有铰链(2)，所述铰链(2)的另一端固定连接有盖体(3)，所述釜体(1)的外表面固定连接有安装基座(4)，所述安装基座(4)的下表面固定连接有电机(5)，所述电机(5)的输出端的固定连接有转动轴(6)，所述转动轴(6)的下表面固定连接有连接杆(7)，所述连接杆(7)远离转动轴(6)的一端与铰链(2)固定连接，所述釜体(1)的外表面固定连接有第一安装板(8)，所述第一安装板(8)的外表面固定连接有第一万向节(9)，所述第一万向节(9)的另一端固定连接有伸缩杆(10)，所述盖体(3)的外表面固定连接有第二安装板(12)，所述第二安装板(12)的外表面固定连接有第二万向节(11)，所述伸缩杆(10)远离第一万向节(9)的一端与第二万向节(11)固定连接。
2.根据权利要求1所述的一种碳化硅长晶设备开盖机械机构，其特征在于，所述伸缩杆(1...
【专利技术属性】
技术研发人员：白效杰，张四法，闫济麟，梁晏馨，
申请(专利权)人：山西天成半导体材料有限公司，
类型：新型
国别省市：
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