【技术实现步骤摘要】
本申请涉及自动化,具体而言,涉及一种单晶炉的投料方法、系统、电子设备及存储介质。
技术介绍
1、随着半导体行业的快速发展,单晶硅生产企业的自动化需求逐步提高,尤其是在单晶拉制等核心工艺环节。
2、尽管自动化技术在单晶生产的多个环节得到了广泛应用,单晶炉的加料过程仍然高度依赖人工操作,需要人工干预。这不仅增加了操作人员的劳动强度,还对生产效率和产品质量造成了潜在影响。
技术实现思路
1、本申请实施例的目的在于提供一种单晶炉的投料方法、系统、电子设备及存储介质,通过自动化的单晶炉复投投料方式,降低单晶硅生产投料过程的人工成本,提高生产效率。
2、第一方面,本专利技术提供一种单晶炉的投料方法,方法包括响应自动投料指令,确定是否符合隔离阀开启条件;若不符合,则返回执行确定是否符合隔离阀开启条件的步骤;若符合,则控制单晶炉的隔离阀打开,并驱动单晶炉的加料结构到达单晶炉的喉口处,加料结构装载有预设重量值的硅料;确定是否满足投料条件;若满足,则控制加料结构执行预设轮次的投料动作;
...【技术保护点】
1.一种单晶炉的投料方法,其特征在于,所述方法包括:
2.根据权利要求1所述的方法,其特征在于,通过以下方式确定是否符合隔离阀开启条件:
3.根据权利要求1所述的方法,其特征在于,控制单晶炉的隔离阀打开的步骤之前,还包括:
4.根据权利要求1所述的方法,其特征在于,加料结构至少包括加料筒和石英伞,通过以下方式确定是否满足投料条件:
5.根据权利要求2所述的方法,其特征在于,控制加料结构执行预设轮次的投料动作的步骤,具体包括:
6.根据权利要求5所述的方法,其特征在于,石英伞停留在当前行程值的时间内,还包括:<
...【技术特征摘要】
1.一种单晶炉的投料方法,其特征在于,所述方法包括:
2.根据权利要求1所述的方法,其特征在于,通过以下方式确定是否符合隔离阀开启条件:
3.根据权利要求1所述的方法,其特征在于,控制单晶炉的隔离阀打开的步骤之前,还包括:
4.根据权利要求1所述的方法,其特征在于,加料结构至少包括加料筒和石英伞,通过以下方式确定是否满足投料条件:
5.根据权利要求2所述的方法,其特征在于,控制加料结构执行预设轮次的投料动作的步骤,具体包括:
6.根据权利要求5所述的方法,其特征在于,石英伞停留在当前行程值的时间内,还包括:
7.根据...
【专利技术属性】
技术研发人员:徐耀,王胜利,乔乐,刘鑫,皇甫亚楠,
申请(专利权)人:高景太阳能股份有限公司,
类型:发明
国别省市:
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