流体设备系统技术方案

本发明专利技术提供一种使流体设备系统的尺寸小型化的流体设备系统。具备：流道部件(50)；第一阀，其被设置于第一区域(A1)并切换第一流道的流通状态；第二阀，其被设置于第二区域(A2)并切换第二流道的流通状态；第三阀，其被设置于第三区域(A3)并切换从第三流道向第二流道的流体的流入状态，第一流道将从流入口(101a)流入的流体向第一流出口(101b1)引导，第二流道将从第三阀流入的流体向第二流出口(101b2)引导，第三流道将从第一流道流入的流体向第三流出口(101b3)引导，流入口(101a)与流量调节装置连接，并朝向在第一方向(DR1)上与第三区域(A3)一致且在第二方向(DR2)上与第一区域(A1)一致的第四区域(A4)而开口。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及一种流体设备系统。

技术介绍

1、以往，已知有一种将从供给源向流入口供给的流体向多个流出口中的任意一个排出的流体设备(例如，参照专利文献1)。专利文献1所公开的流体设备，其具有：第一流体单元，其具有使流体沿着第一方向而流通的多个第一流道；第二流体单元，其具有使流体沿着与第一方向交叉的第二方向而流通的多个第二流道，在多个第一流道与多个第二流道交叉的多个位置处分别配置有多个开闭阀。专利文献1所公开的流体设备能够通过对多个开闭阀的开闭状态进行切换，从而将向使流体沿着第一方向而流通的多个第一流道中流入的流体从使流体沿着与第一方向交叉的第二方向而流通的期望的第二流道向外部排出。

2、在先技术文献

3、专利文献

4、专利文献1：日本特开2017-2919号公报

技术实现思路

1、专利技术所要解决的课题

2、但是，在专利文献1所公开的流体设备中，由于配置有多个第二流道的第一方向的位置各不相同，因此根据从第二流道向外部排出的排出口的数量而使流体设备的第一方向的尺寸本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种流体设备系统，具备：

2.如权利要求1所述的流体设备系统，其中，

3.如权利要求1或权利要求2所述的流体设备系统，其中，

4.一种流体设备系统，具备：

5.如权利要求4所述的流体设备系统，其中，

6.如权利要求4或权利要求5所述的流体设备系统，其中，

【技术特征摘要】

1.一种流体设备系统，具备：

2.如权利要求1所述的流体设备系统，其中，

3.如权利要求1或权利要求2所述的流体设备系统，其中，

...

【专利技术属性】
技术研发人员：井上淳史，
申请(专利权)人：沙巴斯工业株式会社，
类型：发明
国别省市：