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本发明提供一种使流体设备系统的尺寸小型化的流体设备系统。具备：流道部件(50)；第一阀，其被设置于第一区域(A1)并切换第一流道的流通状态；第二阀，其被设置于第二区域(A2)并切换第二流道的流通状态；第三阀，其被设置于第三区域(A3)并切换...
该专利属于沙巴斯工业株式会社所有，仅供学习研究参考，未经过沙巴斯工业株式会社授权不得商用。

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