用于传送基底的机械手的末端执行器制造技术

一种基底传送机械手的末端执行器，所述末端执行器包括由纤维强化的塑料（ＦＲＰ）制成的上板；由纤维强化的塑料（ＦＲＰ）制成的下板；以及布置在所述上板与下板之间的中间构件，所述中间构件选自铝、不锈钢和蜂窝状纤维强化的塑料（ＦＲＰ）。此外，公开了一种装备有上述末端执行器的基底传送机械手。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】用于传送基底的机械手的末端执行器本专利申请要求提交于2007年4月5日的美国临时申请60/921, 946 的优先权，该临时申请全文以引用方式并入本文。
技术介绍
专利
本专利技术涉及作为机械手的组成构件的末端执行器，该机械手用于传送 多种类型的基底，例如液晶显示屏中使用的玻璃基底。本专利技术还涉及包括 所述末端执行器的机械手。
技术介绍
随着液晶显示屏尺寸的增大，在液晶显示屏生产过程中采用的玻璃的 尺寸近来也变得更大。尽管在传送玻璃基底时，采用了提供末端执行器来 夹持基底的基底传送机械手，但这些机械手也趋于变得更大。美国专利 6,893， 712中公开了在传送半导体硅片和液晶基底的机械手中使用的传送" 尽管美国专利6，893，:口712,A、开了组合多个碳纤维强;匕的塑料件的末端 执行器，但在应用该技术来夹持被称为第八代基底的大尺寸玻璃基底的情 况下，尤其存在末端执行器弯曲的问题。期望使用可夹持大尺寸基底的末端执行器。还期望装备有此类末端执 行器的基底传送机械手，用于传送大尺寸基底，尤其是用于液晶显示屏的 大尺寸玻璃。专利技术概述 本专利技术的目机械手，该末端执行器外形纤细、耐弯曲、重量轻、并且足以用于夹持称为第八代基底的大尺寸玻璃基底。此外，本专利技术的目的是提供用于容易地 制造长型末端执行器的方法。本专利技术为基底传送机械手的末端执行器，所述末端执行器包括纤维强化的塑料(FRP)制成的上板、FRP下板以及布置在上板与下板之间的中间构 件，中间构件包含选自铝、不锈钢和蜂窝状FRP的材料。纤维优选为碳纤 维、芳族聚酰胺纤维或聚对苯撑苯并二哺唑纤维。此外，本专利技术涉及装备有前述末端执行器的基底传送机械手。本专利技术的末端执行器由上板、下板以及布置在这之间的中间构件构 成。这类末端执行器与仅由碳纤维强化的材料构成的末端执行器相比具有 更加简单的结构。此外，它还能降低制造成本。例如，圆柱形末端执行器 的制造工艺较为复杂。在生产用于第八代基底等的末端执行器的情况下， 制造尤其困难。就这一点而言，本专利技术的末端执行器可通过筒单地对板状 构件进行层合来制造，从而使制造工艺变得极为简单。根据情况，可将上 板、下板和中间构件运送到液晶面板制造厂，并在厂内进行装配，以方便 地制造末端执行器。此外，本专利技术的末端执行器为复合件，该复合件由包含纤维强化的塑 料的上板和下板，以及由铝、不锈钢或蜂窝状纤维强化的塑料制成的中间 构件构成。在以此方式使用具有不同特性的中间构件的情况下，与仅由碳 纤维复合材料构成的末端执行器相比，可提高减振性能。因此，可有效防 止末端执行器弯曲期间各玻璃基底之间的接触。这一特性在长型末端执行 器中尤其有用，例如用于第八代基底的末端#1行器。此外，本专利技术的末端执行器采用碳纤维复合材料或强化纤维用于上板 和下板。因此，可提供重量轻并且纤细的末端执行器。此外，由于前述末端执行器兼具外形纤细、抑制弯曲和重量较轻的特 点，本专利技术的基底传送机械手可优选用于在液晶显示屏制造工艺中来传送 玻璃基底。由于本专利技术的基底传送机械手具有上述极高的抑制弯曲的效 果，因此尤其优选用于夹持称为第八代基底的大尺寸玻璃基底。然而，本 专利技术并不仅限于第八代基底，而是理所当然地还可用于其他尺寸的玻璃基 底以及除玻璃基底之外的基底。附图简述附图说明图1A为作为本专利技术的实例的末端执行器12的透视图，图IB为其顶 视图，图1C为其侧视图2A为本专利技术的末端执行器的实例的侧视图，图2B为其前视图，其 中中间构件为中空矩形棱柱；图3A为本专利技术的末端执行器的实例的顶视图，图3B为其侧视图，图 3C为其后视图，其中中间构件为U形构件；图4A为本专利技术的末端执行器的实例的顶视图，图4B为其侧视图，图 4C为其前视图，其中中间构件由蜂窝状芳族聚酰胺纤维制成；图5为基底传送机械手30的实例的示意性透视图，该基底传送机械 手装备有本专利技术的末端执行器。优选实施方案il明下面结合附图对本专利技术的末端执行器和基底传送机械手进行详细阐述。图1示出了作为本专利技术的实例的末端执行器12。图1A为透视图，图 1B为顶视图，图1C为侧视图。在该实例中，末端执行器12由纤维强化的 塑料(下文有时简称为FRP)制成的上板14、 FRP制成的下板16以及布置 在上板14与下板16之间的中间构件18构成，中间构件选自铝、不锈钢 和蜂窝状FRP,并且末端执行器12总体上具有中空结构。此外，尽管图1 的实例为中空结构的实例，但本专利技术专利申请的末端执行器并不限于该形 状，并且也可采用实心结构。对于用作上板14和下板16的材料的FRP的组成并无具体限制，并且 可应用称为FRP的多种材料。也可组合使用这些材料中的两种或更多种。 优选对掺入塑料中的强化纤维使用碳纤维、芳族聚酰胺纤维或聚对苯撑苯 并二-恶唑纤维。这些材料可商购获得，并且可使用可商购获得的材料作为 基料来成形为板形。可商购获得的材料的实例包括Kevlar⑧和Zylon 。优 选使用更轻并且具有改善的耐弯曲特性的纤维。例如，包含碳纤维的碳纤 维强化的塑料(CFRP)，该碳纤维的形式为具有490至950 GPa的拉伸弹性 模量的高弹性碳纤维，按体积计占30°/。或更高。通过使这些纤维的体积比高，可获得足够的刚度和具有高减振性能的 构件。上述体积比率优选为40%或更高。尽管所用的所有强化纤维均可为高弹性^友纤维，但部分纤维可由其他 强化纤维制成，例如具有小于490 GPa的拉伸弹性模量的碳纤维、玻璃纤 维、芳族聚酰胺纤维、碳化硅纤维或其他已知的强化纤维。例如，高弹性 碳纤维的体积比率最多可为90%，同时其他强化纤维，尤其是具有小于 490 GPa的拉伸弹性模量的碳纤维，可与其余纤维组合使用。此外，对布置在上板14与下板16之间的中间构件18使用选自铝、 不锈钢和蜂窝状FRP的材料。铝和不锈钢具有高强度并且耐腐蚀。对于用作中间构件的材料的强化纤维并无具体限制，并且可应用已知 为强化纤维的多种材料。优选对掺入塑料中的强化纤维使用碳纤维、芳族 聚酰胺纤维或聚对苯撑苯并二喁唑纤维。这些材料可商购获得，并且可使 用可商购获得的材料作为基料来成形为板形。可商购获得的材料的实例包 括Kevlar⑧和Zylon 。优选使用更轻并且具有改善的耐弯曲特性的纤维。 例如，包含碳纤维的碳纤维强化的塑料(CFRP),该碳纤维的形式为具有 490至950 GPa的拉伸弹性模量的高弹性碳纤维，按体积计占30%或更 高。通过使这些纤维的体积比率为30%或更高，可获得足够的刚度和具有 高减振性能的构件。上述体积比率优选为40%或更高。下面对本专利技术的末端执行器的多个方面进行说明，尤其是对其中中间 构件已经过适当修改的方面。图2A为本专利技术的末端执行器的一个方面的侧视图，图2B为其前视图 (从图2A的侧面看)。在该实例中，末端执行器由上板n、下板"以及 布置在板21与22之间的中空矩形棱柱中间构件23构成。使用这种形式 的中间构件可使整个末端执行器表现出轻的重量、足够的强度和弯曲刚 度。图3A为本专利技术的末端执行器的一个方面的顶视图，图3B为其侧视 图，图3C为其后视图(从图3B的左侧看)。在该实例中，末端执行器由 上板24、下板25以及布置在这些板24与25之间的U形中间构件26构 成。与图2中示出的实例本文档来自技高网...

【技术保护点】
基底传送机械手的末端执行器，所述末端执行器包括：　由纤维强化的塑料（ＦＲＰ）制成的上板；　由纤维强化的塑料（ＦＲＰ）制成的下板；和　布置在所述上板与下板之间的中间构件，所述中间构件包含选自铝、不锈钢和蜂窝状纤维强化的塑料（ ＦＲＰ）的材料。

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】...

【专利技术属性】
技术研发人员：I于亚萨，Y马鲁亚马，T托基，I富卡祖，
申请(专利权)人：纳幕尔杜邦公司，
类型：发明
国别省市：US[]