【技术实现步骤摘要】
本技术涉及蓝宝石晶圆片，具体为一种蓝宝石晶圆片归盘装置。
技术介绍
1、蓝宝石晶圆片是指使用蓝宝石材料制成的圆形基板，通常用于制造半导体器件、光学器件和其他高科技应用。这些晶圆片通常具有高度的平整度和优异的化学和物理性能。在半导体制造和其他高科技领域中，通常需要处理大量的晶圆片。使用归盘装置可以有效地组织和管理这些晶圆片，使其排列整齐，并确保操作人员能够轻松访问所需的晶圆片。
2、而目前的蓝宝石晶圆片归盘一般都是人工手动作业来将蓝宝石晶圆片放置装载盘中，但是人工归盘需要大量的人力投入，尤其是在处理大批量的晶圆片时，需要花费大量的时间和人力资源，且人工作业受到操作人员技能水平和注意力的影响，存在人为失误的可能性，导致晶圆片放置不准确或损坏，且人工归盘速度相对较慢，无法满足高效率、高产量的生产需求。
技术实现思路
1、本技术的目的在于提供一种蓝宝石晶圆片归盘装置，以解决上述
技术介绍
中提出的问题。
2、为实现上述目的，本技术提供如下技术方案：一种蓝宝石晶圆片归盘装置，包括...
【技术保护点】
1.一种蓝宝石晶圆片归盘装置，包括底座(1)、前后调节导轨本体(2)和左右调节导轨本体(3)，其特征在于，还包括：
2.根据权利要求1所述的一种蓝宝石晶圆片归盘装置，其特征在于：所述底座(1)顶部的一侧开设有配合放置架(9)使用的限位槽(11)，所述限位板(12)为两个且对称设置。
3.根据权利要求1所述的一种蓝宝石晶圆片归盘装置，其特征在于：所述底座(1)顶部的一侧设置有限位架(13)，所述底座(1)顶部的一侧固定连接有弹簧组(14)，所述弹簧组(14)的顶部固定连接有缓冲板(15)。
4.根据权利要求1所述的一种蓝宝石晶圆片归盘...
【技术特征摘要】
1.一种蓝宝石晶圆片归盘装置，包括底座(1)、前后调节导轨本体(2)和左右调节导轨本体(3)，其特征在于，还包括：
2.根据权利要求1所述的一种蓝宝石晶圆片归盘装置，其特征在于：所述底座(1)顶部的一侧开设有配合放置架(9)使用的限位槽(11)，所述限位板(12)为两个且对称设置。
3.根据权利要求1所述的一种蓝宝石晶圆片归盘装置，其特征在于：所述底座(1)顶部的一侧设置有限位架(13)，所述底座(1)顶部的一侧固定连接有弹簧组(14)，所述弹簧组(14)的顶部固定连接有缓冲板(15)。
4.根据权利要求1所述的一种蓝宝石晶圆片归盘装置，其特征在于：所述取盘组件(5)包括第一电动伸缩杆(501)和l型板(502)，所述第一电动伸缩杆(501)固定于移动座(31)的底部，且第一电动伸缩杆(501)的底部与l型板(502)固定连接，所述l型板(502)的一侧固定连接有延伸板(503)，所述延伸板(503)的顶部固定连接有抽气泵(504)，所述延伸板(503)的底部固定连接有第二伸缩杆(505)，所述l型板(502)的底部固定连接有固定块(515)，所述固定块(515)的底部通过转轴设置有连接架(506)，所述第二伸缩杆(505)的一侧通过转轴与连接架(5...
【专利技术属性】
技术研发人员：王鑫，张秀芳，刘奔，
申请(专利权)人：青岛芯康半导体科技有限公司，
类型：新型
国别省市：
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