一种用于氧化镓晶体生长的模具制造技术

本技术涉及晶体生长技术领域，且公开了一种用于氧化镓晶体生长的模具；包括底座，还包括：固定于底座顶部用于镓晶体生长的坩埚，所述底座的内部设置有调节镓晶体冷却角度的驱动机构，所述驱动机构的一侧设置有转杆，所述转杆的顶部固定连接有支撑盘，所述支撑盘的顶部设置有模具座，本技术通过制冷器和冷却扇对熔接后的镓晶体进行冷却，冷却降温使晶体逐渐变大到规定尺寸，通过设置驱动机构可模具座内部的镓晶体进行转动，使镓晶体冷却更加均匀，提高镓晶体降温生长的稳定性，通过阻尼器和缓冲机构的作用带动防护板复位，减少坩埚受到的冲击力，避免坩埚受到碰撞导致镓晶体晃动产生裂纹的问题。

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及晶体生长，具体为一种用于氧化镓晶体生长的模具。

技术介绍

1、氧化镓晶体是一种具有高硬度、高熔点和良好电绝缘性能的半导体材料，氧化镓具有良好的光学和热传导特性，因此在高功率器件和高温电子学领域具有重要应用价值。

2、氧化镓通常需要通过熔融等方法制备成薄膜或纳米颗粒形式，因此需要使用镓晶体生长模具，现有的模具在使用的过程中，通常将氧化镓材料放入坩埚中，使氧化镓原材料受热后与镓晶体进行熔接，然后降温使晶体逐渐变大到规定尺寸，但是现有技术在对晶体降温时只能通过冷却扇对晶体部分位置进行降温冷却，无法均匀对晶体进行降温，导致晶体无法进行稳定生长，且坩埚的防护功能较差，坩埚受到碰撞会导致镓晶体晃动产生裂纹，影响镓晶体生产质量。

3、因此，有必要提供一种新的用于氧化镓晶体生长的模具解决上述技术问题。

技术实现思路

1、本技术的目的在于提供一种用于氧化镓晶体生长的模具，以解决上述
技术介绍
中提出的问题。

2、为实现上述目的，本技术提供如下技术方案：一种用于氧化镓晶体生长的模具，包括本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种用于氧化镓晶体生长的模具，包括底座(1)，其特征在于，还包括：

2.根据权利要求1所述的一种用于氧化镓晶体生长的模具，其特征在于：所述驱动机构(3)包括安装在底座(1)内壁的电动缸(31)，所述电动缸(31)的活塞杆固定连接有齿板(32)，所述齿板(32)的底部滑动连接有限位座(33)，所述齿板(32)的外侧啮合连接有齿轮(34)。

3.根据权利要求1所述的一种用于氧化镓晶体生长的模具，其特征在于：所述转杆(4)的外侧固定连接有固定套(13)，所述固定套(13)的外侧固定连接有限位块(14)，所述底座(1)的内壁固定连接有对限位块(14)进行限位的限位架(...

【技术特征摘要】

1.一种用于氧化镓晶体生长的模具，包括底座(1)，其特征在于，还包括：

2.根据权利要求1所述的一种用于氧化镓晶体生长的模具，其特征在于：所述驱动机构(3)包括安装在底座(1)内壁的电动缸(31)，所述电动缸(31)的活塞杆固定连接有齿板(32)，所述齿板(32)的底部滑动连接有限位座(33)，所述齿板(32)的外侧啮合连接有齿轮(34)。

3.根据权利要求1所述的一种用于氧化镓晶体生长的模具，其特征在于：所述转杆(4)的外侧固定连接有固定套(13)，所述固定套(13)的外侧固定连接有限位块(14)，所述底座(1)的内壁固定连接有对限位块(14)进行限位的限位架(15)。

4.根据权利要求1所...

【专利技术属性】
技术研发人员：肖迪，王鑫，郑东，贾松松，
申请(专利权)人：青岛芯康半导体科技有限公司，
类型：新型
国别省市：