下载一种用于氧化镓晶体生长的模具的技术资料

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本技术涉及晶体生长技术领域,且公开了一种用于氧化镓晶体生长的模具;包括底座,还包括:固定于底座顶部用于镓晶体生长的坩埚,所述底座的内部设置有调节镓晶体冷却角度的驱动机构,所述驱动机构的一侧设置有转杆,所述转杆的顶部固定连接有支撑盘,所述支撑...
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