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本技术涉及蓝宝石晶圆片技术领域，且公开了一种蓝宝石晶圆片归盘装置，包括底座、前后调节导轨本体和左右调节导轨本体，还包括：设置于底座顶部四角的支撑柱。通过控制器控制时前后调节导轨本体和左右调节导轨本体配合使移动座调节至放置架的前侧，然后第一电...
该专利属于青岛芯康半导体科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过青岛芯康半导体科技有限公司授权不得商用。

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