【技术实现步骤摘要】
本申请属于光伏，具体涉及一种外延设备。
技术介绍
1、在光伏生产技术中，外延设备用于在单晶衬底硅上生长出单晶外延片，有着较为重要的作用。
2、现有技术中，外延设备通常包括设备本体和可拆卸连接于设备本体的传送结构，设备本体设有凹槽，凹槽用于容纳单晶衬底件，例如石墨件和石英件等。设备本体上靠近凹槽的槽口设有凸出的定位件，以对传送结构的连接进行定位。
3、然而，随着生产单晶外延片数的增加，需要将单晶衬底件从凹槽内拆卸下来进行维护，而在拿取单晶衬底件时容易碰到定位件，导致石墨件产生掉粉或者破裂等损伤，影响产品的良品率，以及石英件产生裂纹或者破碎等损伤。
技术实现思路
1、鉴于上述问题，提出了本技术以便提供一种克服上述问题或者至少部分地解决上述问题的一种外延设备。
2、为了解决上述技术问题，本申请是这样实现的：
3、第一方面，本申请实施例提出了一种外延设备，所述外延设备包括：设备本体和传送结构；
4、所述设备本体设有凹槽，所述凹槽用于容纳单...
【技术保护点】
1.一种外延设备，其特征在于，所述外延设备包括：设备本体和传送结构；
2.根据权利要求1所述的外延设备，其特征在于，所述保护套包括套筒和套头，所述定位件凸出所述设备本体设置，所述套筒套设于所述定位件，所述套头设置于所述定位件远离所述设备本体的一端，且所述套头连接于所述套筒的一端。
3.根据权利要求2所述的外延设备，其特征在于，所述套头可拆卸连接于所述套筒的一端。
4.根据权利要求3所述的外延设备，其特征在于，所述套筒包括套筒本体和套接部；
5.根据权利要求4所述的外延设备，其特征在于，所述套接部为圆柱套接部，所述圆柱套接...
【技术特征摘要】
1.一种外延设备，其特征在于，所述外延设备包括：设备本体和传送结构；
2.根据权利要求1所述的外延设备，其特征在于，所述保护套包括套筒和套头，所述定位件凸出所述设备本体设置，所述套筒套设于所述定位件，所述套头设置于所述定位件远离所述设备本体的一端，且所述套头连接于所述套筒的一端。
3.根据权利要求2所述的外延设备，其特征在于，所述套头可拆卸连接于所述套筒的一端。
4.根据权利要求3所述的外延设备，其特征在于，所述套筒包括套筒本体和套接部；
5.根据权利要求4所述的外延设备，其特征在于，所述套接部为圆柱套接部，所述圆柱套接部的直径小于所述套筒本体的直径。
6.根据权利要求2所述的外延设备，其特征在于，所述套头的外表面为弧形面。
7.根据权利要求2所...
【专利技术属性】
技术研发人员：唐用斌，薛艳杰，谢春林，区灿林，周维，
申请(专利权)人：比亚迪股份有限公司，
类型：新型
国别省市：
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