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本申请实施例提供了一种外延设备，外延设备包括：设备本体和传送结构；设备本体设有凹槽，凹槽用于容纳单晶衬底件，传送结构可拆卸连接于设备本体，设备本体靠近凹槽的槽口设有定位件，定位件用于对传送结构进行定位；设备本体设有保护套，保护套套设于定位件...
该专利属于比亚迪股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过比亚迪股份有限公司授权不得商用。

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