双极性结型晶体管器件制造技术

技术编号:44424494 阅读:34 留言:0更新日期:2025-02-28 18:39
本发明专利技术公开了一种双极性结型晶体管(BJT)器件,通过第二重掺杂区与第一浅槽隔离结构的间隔设置以及两者间隔空间内的隔离层的设置,降低了基区电阻压降的影响,有效地抑制了发射极电流集边效应。同时,由于第二重掺杂区远离第一浅槽隔离结构,能够有效降低第一浅槽隔离结构的边缘处产生的复合电流,第二阱区(基区)电流也随之减少,BJT器件电流增益也随之提升。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术属于半导体器件,具体涉及一种双极性结型晶体管(bjt)器件。


技术介绍

1、在bcd工艺中(bcd工艺是一种单片集成工艺技术,它将双极晶体管(bipolar)、cmos和dmos器件集成到同一芯片上),在传统垂直型npn型和pnp型bjt器件中,参考图1所示,由于基区电阻的存在,当bjt器件发射结处于正偏状态时,基极电流在基区200中横向流动时,就会在基区电阻上产生一定的电压降,使发射区100下方各点的电位不一样,导致发射结边缘处的电位较高,发射结中心处的电位较低,发射结电流集中在发射结边缘,即发射极电流集边效应。由于发射极电流集边效应的存在,使得发射结的面积不能被充分利用,降低了发射极的注入效率,使得bjt器件的电流增益变小。

2、传统bjt器件会在发射极的边缘设有sab保护环300(金属硅化物阻挡层),sab保护环会使发射结边缘处不能形成碱金属硅化物,使得发射极边缘处接触电阻增大,能从一定程度上缓解电流集边效应,但该方法并不能显著地抑制电流集边效应。

3、公开于该
技术介绍
部分的信息仅仅旨在增加对本专利技术的总体背景的理本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种双极性结型晶体管器件,其特征在于,包括:

2.根据权利要求1所述的双极性结型晶体管器件,其特征在于,所述隔离层部分覆盖所述第二重掺杂区。

3.根据权利要求2所述的双极性结型晶体管器件,其特征在于,所述第二间隔空间的宽度范围为0.5μm-2μm。

4.根据权利要求1所述的双极性结型晶体管器件,其特征在于,所述隔离层与所述第一浅槽隔离结构相接设置。

5.根据权利要求1所述的双极性结型晶体管器件,其特征在于,所述隔离层通过硅局部氧化隔离工艺形成。

6.根据权利要求1所述的双极性结型晶体管器件,其特征在于,所述第一阱区为双极性结...

【技术特征摘要】

1.一种双极性结型晶体管器件,其特征在于,包括:

2.根据权利要求1所述的双极性结型晶体管器件,其特征在于,所述隔离层部分覆盖所述第二重掺杂区。

3.根据权利要求2所述的双极性结型晶体管器件,其特征在于,所述第二间隔空间的宽度范围为0.5μm-2μm。

4.根据权利要求1所述的双极性结型晶体管器件,其特征在于,所述隔离层与所述第一浅槽隔离结构相接设置。

5.根据权利要求1所述的双极性结型晶体管器件,其特征在于,所述隔离层通过硅局部氧化隔离工艺形成。

6.根据权利要求1所述的双极性结型晶体管器件,其特征在于,所述第一阱区为双极性结型晶体管器件的集电区,通过所述第一重掺杂区将所述第一阱区引出至所...

【专利技术属性】
技术研发人员:崔永久陈莉芬张雪璠汪海旸马小波李明
申请(专利权)人:思瑞浦微电子科技苏州股份有限公司
类型:发明
国别省市:

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