【技术实现步骤摘要】
本专利技术属于半导体器件,具体涉及一种双极性结型晶体管(bjt)器件。
技术介绍
1、在bcd工艺中(bcd工艺是一种单片集成工艺技术,它将双极晶体管(bipolar)、cmos和dmos器件集成到同一芯片上),在传统垂直型npn型和pnp型bjt器件中,参考图1所示,由于基区电阻的存在,当bjt器件发射结处于正偏状态时,基极电流在基区200中横向流动时,就会在基区电阻上产生一定的电压降,使发射区100下方各点的电位不一样,导致发射结边缘处的电位较高,发射结中心处的电位较低,发射结电流集中在发射结边缘,即发射极电流集边效应。由于发射极电流集边效应的存在,使得发射结的面积不能被充分利用,降低了发射极的注入效率,使得bjt器件的电流增益变小。
2、传统bjt器件会在发射极的边缘设有sab保护环300(金属硅化物阻挡层),sab保护环会使发射结边缘处不能形成碱金属硅化物,使得发射极边缘处接触电阻增大,能从一定程度上缓解电流集边效应,但该方法并不能显著地抑制电流集边效应。
3、公开于该
技术介绍
部分的信息仅仅旨在增加对本专 ...
【技术保护点】
1.一种双极性结型晶体管器件,其特征在于,包括:
2.根据权利要求1所述的双极性结型晶体管器件,其特征在于,所述隔离层部分覆盖所述第二重掺杂区。
3.根据权利要求2所述的双极性结型晶体管器件,其特征在于,所述第二间隔空间的宽度范围为0.5μm-2μm。
4.根据权利要求1所述的双极性结型晶体管器件,其特征在于,所述隔离层与所述第一浅槽隔离结构相接设置。
5.根据权利要求1所述的双极性结型晶体管器件,其特征在于,所述隔离层通过硅局部氧化隔离工艺形成。
6.根据权利要求1所述的双极性结型晶体管器件,其特征在于,所
...【技术特征摘要】
1.一种双极性结型晶体管器件,其特征在于,包括:
2.根据权利要求1所述的双极性结型晶体管器件,其特征在于,所述隔离层部分覆盖所述第二重掺杂区。
3.根据权利要求2所述的双极性结型晶体管器件,其特征在于,所述第二间隔空间的宽度范围为0.5μm-2μm。
4.根据权利要求1所述的双极性结型晶体管器件,其特征在于,所述隔离层与所述第一浅槽隔离结构相接设置。
5.根据权利要求1所述的双极性结型晶体管器件,其特征在于,所述隔离层通过硅局部氧化隔离工艺形成。
6.根据权利要求1所述的双极性结型晶体管器件,其特征在于,所述第一阱区为双极性结型晶体管器件的集电区,通过所述第一重掺杂区将所述第一阱区引出至所...
【专利技术属性】
技术研发人员:崔永久,陈莉芬,张雪璠,汪海旸,马小波,李明,
申请(专利权)人:思瑞浦微电子科技苏州股份有限公司,
类型:发明
国别省市:
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