加速度传感器制造技术

本发明专利技术涉及结构简单、制造容易且小型、高灵敏度的加速度传感器。该加速度传感器具备：经由配置于压电振动元件（１０）的两主面的一端的一对主面间隔部件（２１ａ、２１ｂ）空开间隔而配置的一对主面保护部件（３１ａ、３１ｂ）；经由配置于主面保护部件（３１ａ、３１ｂ）的另一端的端面的一对端面间隔部件（２２ａ、２２ｂ）与所述压电振动元件（１０）空开间隔而配置的端面保护部件（３２）；经由配置于压电振动元件（１０）的两侧面的一端及一对主面保护部件（３１ａ、３１ｂ）、端面保护部件（３２）、一对主面间隔部件（２１ａ、２１ｂ）、端面间隔部件（２２ａ、２２ｂ）的两侧面的一对侧面间隔部件（２３ａ、２３ｂ）空开间隔而配置的一对侧面保护部件（３３ａ、３３ｂ）。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】
本专利技术涉及一种加速度传感器，尤其涉及结构简单、能够容易制造， 且小型、加速度的检测灵敏度高的加速度传感器。
技术介绍
以往以来，加速度传感器用于从外部向硬盘驱动器等电子设备施加的冲击的检测等中。作为该加速度传感器，例如如特开2005—315847号公 报中的公开，公知的有利用支承部件支承了贴合长条状的压电基板且在两 主面配置了电荷检测电极的压电振动元件的长边方向上的一端部的单端 支承结构。在使用压电振动元件的加速度传感器中，压电振动元件通过作用的加 速度而挠曲，由此在压电基板产生变形，利用两主面的电荷检测电极采集 通过压电效应产生的电荷，从而检测加速度。因此，根据支承所述压电振 动元件的长边方向上的一端部的单端支承结构的加速度传感器，与支承了 压电振动元件的长边方向上的两端的两端支承结构的加速度传感器相比， 能够增大作用的加速度引起的压电振动元件的挠曲，因此，能够得到更高 的加速度的检测灵敏度。然而，在特开2005_315847号公报中提出的加速度传感器中，形成 了在一个面开口的箱状盒的开口部设置具有贯通孔的固定框，将压电振动 元件插入所述贯通孔中而对位并固定的结构，因此，存在若干的问题。第一个问题是难以小型化这一点。由于是将压电振动元件插入了在箱 状盒的一面的开口部设置的固定框的贯通孔中的结构，所以在组装时，不 能准确地把握插入了贯通孔的压电振动元件的前端和盒的内壁面的间隔， 因此，不能减小设定压电振动元件的前端和盒的内壁面的间隔，导致难以 小型化。第二问题是结构复杂且难以制造这一点。由于形成为使用多个一面开口的箱状盒或在其设置的具有贯通孔的固定框等复杂形状的部件而组装 的复杂结构，因此，存在难以制造的问题。
技术实现思路
本专利技术是鉴于这样的以往技术的问题而做成的，其目的在于提供结构 简单、容易制造且小型、加速度的检测灵敏度高的加速度传感器。 本专利技术的第一加速度传感器，其特征在于，具备压电振动元件，其为矩形平板状的多个压电基板沿厚度方向层叠而成 的压电振动元件，在其两主面分别配置有电荷检测电极；一对主面间隔部件，分别配置于所述压电振动元件的长边方向上的一 端的两主面；矩形状的一对主面保护部件，它们长边方向上的一端及另一端的端面 与所述压电振动元件的长边方向上的一端及另一端的端面分别位于同一 平面上，经由所述一对主面间隔部件与所述压电振动元件的两主面分别空 开间隔而配置；一对端面间隔部件，分别配置于所述一对主面保护部件的长边方向上 的另一端的端面；端面保护部件，其经由所述端面间隔部件，与所述压电振动元件及所 述一对主面保护部件的长边方向上的另一端的端面空开间隔而配置；一对侧面间隔部件，分别配置于所述压电振动元件的长边方向上的一 端的两侧面及所述一对主面保护部件和所述端面保护部件的两侧面；一对侧面保护部件，它们经由所述一对侧面间隔部件，与所述压电振 动元件、所述一对主面保护部件及所述端面保护部件的两侧面分别空开间 隔而配置。另外，本专利技术的第二加速度传感器，其特征在于，具备-压电振动元件，其为矩形平板状的多个压电基板沿厚度方向层叠而成的压电振动元件，在其两主面分别配置有电荷检测电极；一对主面间隔部件，分别配置于所述压电振动元件的长边方向上的一端的两主面；矩形状的一对主面保护部件，它们长边方向上的一端及另一端的端面与所述压电振动元件的长边方向上的一端及另一端的端面分别位于同一 平面上，经由所述一对主面间隔部件与所述压电振动元件的两主面分别空 开间隔而配置；一对侧面间隔部件，分别配置于所述压电振动元件的长边方向上的一端的两侧面及所述一对主面保护部件的两侧面；矩形状的一对侧面保护部件，它们长边方向上的一端及另一端的端面 与所述压电振动元件的长边方向上的一端及另一端的端面分别位于同一 平面上，经由所述一对侧面间隔部件与所述压电振动元件及所述一对主面保护部件的两侧面分别空开间隔而配置；端面间隔部件，其配置于所述一对主面保护部件及所述一对侧面保护 部件的长边方向上的另一端的端面；端面保护部件，其经由所述端面间隔部件，与所述压电振动元件、所 述一对主面保护部件及所述一对侧面保护部件的长边方向上的另一端的 端面空开间隔而配置。进而，本专利技术的第三加速度传感器，其特征在于，具备压电振动元件，其为矩形平板状的多个压电基板沿厚度方向层叠而成的压电振动元件，在其两主面分别配置有电荷检测电极；一对侧面间隔部件，分别配置于所述压电振动元件的长边方向上的一 端的两侧面；矩形状的一对侧面保护部件，它们长边方向上的一端及另一端的端面 与所述压电振动元件的长边方向上的一端及另一端的端面分别位于同一 平面上，经由所述一对侧面间隔部件与所述压电振动元件的两侧面分别空 开间隔而配置；一对主面间隔部件，其分别配置于所述压电振动元件的长边方向上的 一端的两主面及这些两主面侧的所述一对侧面保护部件的两面；矩形状的一对主面保护部件，它们长边方向上的一端及另一端的端面 与所述压电振动元件的长边方向上的一端及另一端的端面分别位于同一 平面上，经由所述一对主面间隔部件与所述压电振动元件的两主面及这些 两主面侧的所述一对侧面保护部件的两面分别空开间隔而配置；端面间隔部件，其配置于所述一对主面保护部件及所述一对侧面保护部件的长边方向上的另一端的端面；端面保护部件，其经由所述端面间隔部件，与所述压电振动元件、所 述一对主面保护部件及所述一对侧面保护部件的长边方向上的另一端的 端面空开间隔而配置。另外，本专利技术的第四加速度传感器，其特征在于，具备压电振动元件，其为矩形平板状的多个压电基板沿厚度方向层叠而成 的压电振动元件，在其两主面分别配置有电荷检测电极；一对侧面间隔部件，分别配置于所述压电振动元件的长边方向上的一 端的两侧面；矩形状的一对侧面保护部件，它们长边方向上的一端及另一端的端面 与所述压电振动元件的长边方向上的一端及另一端的端面分别位于同一 平面上，经由所述一对侧面间隔部件与所述压电振动元件的两侧面分别空开间隔而配置；一对端面间隔部件，分别配置于所述一对侧面保护部件的长边方向上 的另一端的端面；端面保护部件，其经由所述端面间隔部件，与所述压电振动元件及所 述一对侧面保护部件的长边方向上的另一端的端面空开间隔而配置；一对主面间隔部件，分别配置于所述压电振动元件的长边方向上的一 端的两主面及这些两主面侧的所述一对侧面保护部件和所述端面保护部 件的两面；矩形状的一对主面保护部件，它们经由所述一对主面间隔部件，与所 述压电振动元件的两主面及这些两主面侧的所述一对侧面保护部件和所 述端面保护部件的两面分别空开间隔而配置。在本专利技术中，所述各电荷检测电极被引出在所述压电振动元件的长边方向上的一端的端面，在所述压电振动元件的一端的端面形成有与所述各电荷检测电极电连接的外部端子。在本专利技术中， 一电荷检测电极与第一外部端子电连接，另一电荷检测 电极与第二外部端子电连接，第一外部端子和第二外部端子相互离开而形成，第一外部端子形成为，从所述一电荷检测电极延伸至由包含所述压电13想平面和包含在接近一电荷检测电极的一侧的一主面保护部件上露出的面的第二假想平面所限定的第一交点线，且从所述一电荷检测电极延伸至由所述第一假想平面和包含在接近一电荷检测电极的一侧的一侧面保护部件上露出的本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种加速度传感器，其特征在于，具备：　压电振动元件，其为矩形平板状的多个压电基板沿厚度方向层叠而成的压电振动元件，在其两主面分别配置有电荷检测电极；　一对主面间隔部件，分别配置于所述压电振动元件的长边方向上的一端的两主面；　 　矩形状的一对主面保护部件，它们长边方向上的一端及另一端的端面与所述压电振动元件的长边方向上的一端及另一端的端面分别位于同一平面上，经由所述一对主面间隔部件与所述压电振动元件的两主面分别空开间隔而配置；　一对端面间隔部件，分别配置于所 述一对主面保护部件的长边方向上的另一端的端面；　端面保护部件，其经由所述端面间隔部件，与所述压电振动元件及所述一对主面保护部件的长边方向上的另一端的端面空开间隔而配置；　一对侧面间隔部件，分别配置于所述压电振动元件的长边方向上的 一端的两侧面及所述一对主面保护部件和所述端面保护部件的两侧面；　一对侧面保护部件，它们经由所述一对侧面间隔部件，与所述压电振动元件、所述一对主面保护部件及所述端面保护部件的两侧面分别空开间隔而配置。

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】...

【专利技术属性】
技术研发人员：松尾香，
申请(专利权)人：京瓷株式会社，
类型：发明
国别省市：JP[日本]