存储单元、存储器及数据读取方法、擦除方法、电子设备技术

技术编号:44336822 阅读:18 留言:0更新日期:2025-02-18 20:47
本公开提供了一种存储单元、存储器及数据读取方法、擦除方法、电子设备,涉及半导体技术领域。该存储单元包括:写晶体管和读晶体管和擦除单元;写晶体管和读晶体管均为垂直结构晶体管;写晶体管包括写沟道结构和写栅极结构,写沟道结构包括第一源漏区、写沟道区和第二源漏区;读晶体管包括读栅极结构和读沟道结构,读沟道结构包括第三源漏区、读沟道区和第四源漏区;第二源漏区与读栅极结构导电连接,写沟道结构在衬底上的投影与读栅极结构在衬底上的投影存在交叠;擦除单元包覆在写沟道结构的部分侧壁上,擦除单元位于写栅极结构靠近第二源漏区的一侧。本公开提供的擦除单元可以提高器件的数据擦除速度,减少浮体效应。

【技术实现步骤摘要】

本公开涉及半导体,具体而言,涉及一种存储单元、存储器及数据读取方法、擦除方法、电子设备


技术介绍

1、动态随机存取存储器(dynamic random access memory,dram)是一种半导体存储器,用于计算机和其他电子设备中,以存储需要快速访问的数据。与静态随机存取存储器相比,其具有结构简单、制造成本较低以及存储密度较高等优点,是现代计算系统的重要组成部分。

2、目前,常见的dram存储器的存储单元为一个晶体管连接一个电容结构,即1t1c(1transistor 1capacitor)存储单元结构,这种结构需要不断地刷新电容中的电荷以保证数据不会丢失,功耗较大,且电容的制造工艺占用面积较大,器件尺寸的微缩性受到限制。

3、为了克服1t0c存储单元的弊端,双晶体管无电容动态随机存储器(2transistor0capacitor,2t0c)使用了两个晶体管作为存储单元结构,其中写晶体管的源漏极连接到读晶体管的栅极,利用栅极存储电荷,以改变晶体管跨导存储信息。在现有的2t0c存储单元组成的dram中,写晶体管的字线为纵向延伸本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种存储单元,形成于衬底上方,其特征在于,包括:

2.根据权利要求1所述的存储单元,其特征在于,所述写栅介质结构随形包覆在所述写栅极结构的表面。

3.根据权利要求1所述的存储单元,其特征在于,所述写沟道结构包括套筒和填充体,所述套筒随形包覆所述填充体的侧壁和下端面,所述套筒的上表面不低于所述填充体的上表面;所述套筒与所述写栅介质结构相接触。

4.根据权利要求3所述的存储单元,其特征在于,所述套筒的材料包括铟镓锌氧化物,所述填充体的材料包括铟锌氧化物。

5.根据权利要求1所述的存储单元,其特征在于,所述读栅极结构的材料包括铟锌氧化物,所述...

【技术特征摘要】

1.一种存储单元,形成于衬底上方,其特征在于,包括:

2.根据权利要求1所述的存储单元,其特征在于,所述写栅介质结构随形包覆在所述写栅极结构的表面。

3.根据权利要求1所述的存储单元,其特征在于,所述写沟道结构包括套筒和填充体,所述套筒随形包覆所述填充体的侧壁和下端面,所述套筒的上表面不低于所述填充体的上表面;所述套筒与所述写栅介质结构相接触。

4.根据权利要求3所述的存储单元,其特征在于,所述套筒的材料包括铟镓锌氧化物,所述填充体的材料包括铟锌氧化物。

5.根据权利要求1所述的存储单元,其特征在于,所述读栅极结构的材料包括铟锌氧化物,所述读沟道结构的材料为铟镓锌氧化物。

6.根据权利要求1所述的存储单元,其特征在于,所述第二源漏区与所述读栅极结构通过第一导电块实现导电连接,所述第一导电块的下端面与所述读栅极结构的上端面相接触,所述第一导电块的上端面与所述第二源漏区相接触;所述第一导电块与所述读沟道结构之间绝缘。

7.一种存储器,其特征在于,形成于衬底上,包括:

8.根据权利要求7所述的存储器,其特征在于,所述写字线和所述栅极结构的材料相同,所述写字线和所述栅极结构一体成型。

9.根据权利要求7所述的存储器,其特征在于,在每个所述第一源漏区上还依次设有第二导电块和第一连接线,所述第一连接线沿所述第一方向延伸,相邻两根所述第一连接线之...

【专利技术属性】
技术研发人员:郭帅
申请(专利权)人:深圳市昇维旭技术有限公司
类型:发明
国别省市:

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