【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及车间调度，尤其涉及一种基于ems系统的半导体车间的物料调配方法、装置和介质。
技术介绍
1、随着物联网、人工智能等技术的应用越来越广泛，半导体产品的需求持续增加。从智能手机到智能汽车，再到可穿戴设备，半导体行业正迎来前所未有的发展机遇。各类半导体生产物料例如硬质掩膜材料，软质掩模材料、光刻胶以及晶圆等需求量也相应增长，半导体制造业的生产计划日益庞大。
2、目前在半导体制造车间管理上依然采用人工调度的方式，根据每项生产的特定需求来安排物料搬运的路径和物料搬运顺序。人工统计设备状态、位置信息、各种物料数量。虽然可以满足小批量的生产，但在现代化、大规模的生产方式下就难以发挥作用。
3、由于车间产能分布不均衡，加之没有合理的调度计划，在产能有富余的工站处等待时间过长，而产能紧张的工站环节的加工周期增长，在人力有限的情况下，随着生产计划的增大，人工对物料搬运调度难以最优化，导致生产效率不高。
技术实现思路
1、本专利技术提供了一种基于ems系统的半导体车间的物料...
【技术保护点】
1.一种基于EMS系统的半导体车间的物料调配方法，其特征在于，由EMS系统执行，包括：
2.根据权利要求1所述的基于EMS系统的半导体车间的物料调配方法，其特征在于，所述根据所述实际运行参数、所述生产计划数据和所述历史运行数据，计算得到不同工站之间的工站关联值集合，包括：
3.根据权利要求2所述的基于EMS系统的半导体车间的物料调配方法，其特征在于，所述根据所述当前工作时间计算所述不同工站之间的总效率差异，包括：
4.根据权利要求2所述的基于EMS系统的半导体车间的物料调配方法，其特征在于，所述根据所述总效率差异得到不同工站间的关联
【技术特征摘要】
1.一种基于ems系统的半导体车间的物料调配方法，其特征在于，由ems系统执行，包括：
2.根据权利要求1所述的基于ems系统的半导体车间的物料调配方法，其特征在于，所述根据所述实际运行参数、所述生产计划数据和所述历史运行数据，计算得到不同工站之间的工站关联值集合，包括：
3.根据权利要求2所述的基于ems系统的半导体车间的物料调配方法，其特征在于，所述根据所述当前工作时间计算所述不同工站之间的总效率差异，包括：
4.根据权利要求2所述的基于ems系统的半导体车间的物料调配方法，其特征在于，所述根据所述总效率差异得到不同工站间的关联函数曲线，包括：
5.根据权利要求1所述的基于ems系统的半导体车间的物料调配方法，其特征在于，所述根据所述当前工作时间和所述工站关联值集合，确定在制品关联值集合，包括：
6.根据权利要求1所述的基于ems...
【专利技术属性】
技术研发人员：张心诚，马运涛，劳建音，
申请(专利权)人：深圳市益普科技有限公司，
类型：发明
国别省市：
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