一种具有防护机构的晶圆激光切割机制造技术

技术编号:44294023 阅读:16 留言:0更新日期:2025-02-18 20:14
本技术公开了一种具有防护机构的晶圆激光切割机,包括基板和旋台,所述基板顶部的中心处活动连接有旋台,所述基板内部的中心处安装有电机,所述基板顶部的右侧安装有吊板,且吊板底部的左侧安装有连接管,所述连接管的底部焊接有玻璃罩,且玻璃罩底部的两侧皆设置有珠槽。该具有防护机构的晶圆激光切割机通过在连接管的底部焊接有玻璃罩,由马达操控旋台转动,而玻璃罩卡接在旋台顶部,激光切割器也安装在玻璃罩的右上方,对应右侧的置物台,在旋台转动之时,可凭借环形滑道供玻璃罩贴合,使得置物台表面安装的配件依次接受激光切割器的操作,槽口则专门用于摆放与拿取晶圆配件,解决了缺少保护机构的问题。

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及激光切割机,具体为一种具有防护机构的晶圆激光切割机


技术介绍

1、晶圆是一种硅晶片的别称,此物由多晶硅拉制而成,成品还需经过打磨、抛光等操作后方可植入半导体中,随着技术的更新进步,晶圆也被要求加工成不同大小的配件,为了保障切割得足够标准,则需要使用激光切割机,此物往往由人工手动上料下料,在保持速度的前提下,往往刚摆放硅晶片,便展开激光切割等操作,十分危险且缺少保护机构,激光束存在射伤人手的危险。

2、现在,提出一种新型的具有防护机构的晶圆激光切割机解决上述问题。


技术实现思路

1、本技术的目的在于提供一种具有防护机构的晶圆激光切割机,以解决上述
技术介绍
中提出缺少保护机构的问题。

2、为实现上述目的,本技术提供如下技术方案:一种具有防护机构的晶圆激光切割机,包括基板和旋台,所述基板顶部的中心处活动连接有旋台,所述基板内部的中心处安装有电机,所述基板顶部的右侧安装有吊板,且吊板底部的左侧安装有连接管,所述连接管的底部焊接有玻璃罩,且玻璃罩底部的两侧皆设置有珠槽,且珠槽中活动镶嵌本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种具有防护机构的晶圆激光切割机,包括基板(1)和旋台(2),其特征在于:所述基板(1)顶部的中心处活动连接有旋台(2),所述基板(1)内部的中心处安装有电机(15),所述基板(1)顶部的右侧安装有吊板(6),且吊板(6)底部的左侧安装有连接管(16),所述连接管(16)的底部焊接有玻璃罩(3),且玻璃罩(3)底部的两侧皆设置有珠槽(25),且珠槽(25)中活动镶嵌有滚珠(26),所述旋台(2)顶部边缘的一周开凿有环形滑道(27),所述旋台(2)的顶部固定有四组置物台(4),所述玻璃罩(3)后方的中心处开设有槽口(14),所述玻璃罩(3)内部的上方右侧安装有激光切割器(13)。...

【技术特征摘要】

1.一种具有防护机构的晶圆激光切割机,包括基板(1)和旋台(2),其特征在于:所述基板(1)顶部的中心处活动连接有旋台(2),所述基板(1)内部的中心处安装有电机(15),所述基板(1)顶部的右侧安装有吊板(6),且吊板(6)底部的左侧安装有连接管(16),所述连接管(16)的底部焊接有玻璃罩(3),且玻璃罩(3)底部的两侧皆设置有珠槽(25),且珠槽(25)中活动镶嵌有滚珠(26),所述旋台(2)顶部边缘的一周开凿有环形滑道(27),所述旋台(2)的顶部固定有四组置物台(4),所述玻璃罩(3)后方的中心处开设有槽口(14),所述玻璃罩(3)内部的上方右侧安装有激光切割器(13)。

2.根据权利要求1所述的一种具有防护机构的晶圆激光切割机,其特征在于:所述玻璃罩(3)卡接在旋台(2)的上方,所述玻璃罩(3)与旋台(2)处于同一垂直面。

3.根据权利要求1所述的一种具有防护机构的晶圆激光切割机,其特征在于:所述电机(15)的输出端与旋台(2)底部固定相连,所述旋台(2)可于玻璃罩(3)的下方原地转动。

4.根据权利要求1所述的一种具有防护机构的晶圆激光切割机,其特征在于:所述置物台(4)外部的一侧固定有马达(5),所述置物台(4)内部的两侧之间活动连接有双向丝杆(22),且双向丝杆(22)外部的两侧皆套接有轴套(24),所述轴套(24)的...

【专利技术属性】
技术研发人员:范静张桂珍
申请(专利权)人:苏州艾夫杰电子有限公司
类型:新型
国别省市:

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