一种可控硅芯片生产用外部防护装置制造方法及图纸

本技术涉及芯片生产防护技术领域，且公开了一种可控硅芯片生产用外部防护装置，包括下罩体，下罩体的侧面设置有辅助防护装置，下罩体的表面设置有密封防护装置，密封防护装置包括上罩体、对接块、对接环件、连接条、放置插座、放置插板、插入防护板、防护垫块、连接条板、弹簧减震器和连接圆球。该可控硅芯片生产用外部防护装置，通过设置有密封防护装置，在插入防护板的侧面设置有防护垫块和连接条板组件，在使用过程中当撞击作用在下罩体的侧面时会先作用在侧面的防护垫块上，然后向内挤压，挤压力作用在弹簧减震器上，经过弹簧减震器的缓冲能够缓解撞击产生的冲击力，能够减少下罩体的晃动从而方便对内部的芯片进行保护，使用效果好。

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及芯片生产防护，具体为一种可控硅芯片生产用外部防护装置。

技术介绍

1、随着科技的快速发展，芯片硅作为电子产业的核心材料，其生产过程中的安全、稳定与高效性显得尤为重要。芯片硅生产过程中涉及高温、高压等极端条件，且往往伴随着有害气体和微小颗粒的产生，这些都对生产环境和操作人员的安全构成了威胁。因此，如何为芯片硅生产过程提供有效的外部防护，确保生产过程的稳定性和操作人员的安全，成为亟待解决的问题。

2、现有技术公开了公开号为：cn210850869u一种芯片硅生产用外部防护装置，包括顶板，所述顶板底面一体设置有固定框，所述固定框两外侧均连接有导向板，所述导向板表面贯穿设置有导向孔，所述固定框外侧套装有升降框，所述升降框两外侧连接有承载板，所述承载板上表面安装有导向柱，所述导向柱外侧套装有压紧弹簧，所述导向柱上端贯穿所述导向孔且连接有连接板，所述连接板底面连接有升降柱，所述升降柱底端伸入所述固定框内部且连接有弹性伸缩杆，所述弹性伸缩杆的伸缩端安装有刮板。有益效果在于：利用压紧弹簧压动承载板，使承载板通过导向柱、连接板和升降柱带动刮板下降，通过本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种可控硅芯片生产用外部防护装置，包括下罩体(1)，其特征在于：所述下罩体(1)的侧面设置有辅助防护装置(3)，所述下罩体(1)的表面设置有密封防护装置(2)；

2.根据权利要求1所述的一种可控硅芯片生产用外部防护装置，其特征在于：所述辅助防护装置(3)包括进气过滤器(301)、气泵体(302)、气泵(303)和出气过滤器(304)，所述进气过滤器(301)固定连接于下罩体(1)的右侧，所述气泵体(302)固定连接于进气过滤器(301)的右侧，所述气泵(303)固定连接于进气过滤器(301)的顶部。

3.根据权利要求1所述的一种可控硅芯片生产用外部防护装置，其...

【技术特征摘要】

1.一种可控硅芯片生产用外部防护装置，包括下罩体(1)，其特征在于：所述下罩体(1)的侧面设置有辅助防护装置(3)，所述下罩体(1)的表面设置有密封防护装置(2)；

2.根据权利要求1所述的一种可控硅芯片生产用外部防护装置，其特征在于：所述辅助防护装置(3)包括进气过滤器(301)、气泵体(302)、气泵(303)和出气过滤器(304)，所述进气过滤器(301)固定连接于下罩体(1)的右侧，所述气泵体(302)固定连接于进气过滤器(301)的右侧，所述气泵(303)固定连接于进气过滤器(301)的顶部。

3.根据权利要求1所述的一种可控硅芯片生产用外部防护装置，其特征在于：所述连接圆球(211)固定连接于弹簧减震器(210)远离插入防护板(207)侧面的一端，所述连接圆球(211)的侧面固定连接于连接条板(209)的左侧。

4.根据权利要求1所述的一种可控硅芯片生产用外部防护装置，其特征在于：所述对接环件(203)的内部开设有对...

【专利技术属性】
技术研发人员：耿开远，
申请(专利权)人：济宁东方芯电子科技有限公司，
类型：新型
国别省市：