一种快排清洗槽制造技术

本技术涉及晶圆清洗的技术领域，公开了一种快排清洗槽，包括水槽，水槽前后两侧面设置固定支架，水槽上方设置喷淋装置，喷淋装置包括喷淋管、固定板，两个喷淋管分别设置在水槽前后侧壁上方，喷淋管两端设置固定板，两个固定板分别设置在水槽左右两侧面上，喷淋管开设多个喷淋孔；水槽左侧面设置水阻箱，水阻箱内设置水阻计；水槽内设置过滤板并通过固定柱固定在水槽底面，水槽左侧面下方前后两端分别设置进水管，水槽底面设置两个排水阀。本技术中，喷淋管能在较短的时间内对晶圆表面进行清洗，也能够确保喷撒的溶液均匀覆盖整个晶圆表面，使得清洗更加彻底；均流板和均流孔使水能够均匀的流入水槽内，不会对晶圆直冲使晶圆发生碰撞。

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及晶圆清洗的，尤其涉及一种快排清洗槽。

技术介绍

1、晶圆在经历酸碱溶液后，酸碱液残留可能导致设备部件的腐蚀，尤其是当液体残留在设备表面或通道中时，可能缩短设备的寿命，增加维护成本，酸碱液残留可能导致表面产生污染或化学反应，影响晶圆的表面质量，因此，针对上述问题，提出一种超声水浴加热槽。

技术实现思路

1、为实现上述目的，本技术提供了如下技术方案：一种快排清洗槽，包括水槽，所述水槽前后两侧面设置固定支架，所述水槽上方沿所述水槽中心对称设置喷淋装置，所述喷淋装置包括喷淋管、固定板，两个所述喷淋管分别设置在所述水槽前后侧壁上方，所述喷淋管两端设置固定板，两个所述固定板分别固定设置在所述水槽左右两侧面上，所述喷淋管开设多个喷淋孔；所述水槽左侧面设置水阻箱，所述水阻箱内设置水阻计；所述水槽内设置过滤板并通过固定柱固定在所述水槽底面上，所述水槽左侧面下方前后两端分别设置进水管，所述水槽底面设置两个排水阀。

2、进一步地，所述水槽底面上设置两个均流板，两个所述均流板与两个所述进水管相连通，所述均流板侧本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种快排清洗槽，其特征在于：包括水槽(1)，所述水槽(1)前后两侧面设置固定支架(2)，所述水槽(1)上方沿所述水槽(1)中心对称设置喷淋装置(3)，所述喷淋装置(3)包括喷淋管(31)、固定板(32)，两个所述喷淋管(31)分别设置在所述水槽(1)前后侧壁上方，所述喷淋管(31)两端设置固定板(32)，两个所述固定板(32)分别固定设置在所述水槽(1)左右两侧面上，所述喷淋管(31)开设多个喷淋孔(33)；所述水槽(1)左侧面设置水阻箱(4)，所述水阻箱(4)内设置水阻计(5)；所述水槽(1)内设置过滤板(6)并通过固定柱(7)固定在所述水槽(1)底面上，所述水槽(1)左侧面下方前...

【技术特征摘要】

1.一种快排清洗槽，其特征在于：包括水槽(1)，所述水槽(1)前后两侧面设置固定支架(2)，所述水槽(1)上方沿所述水槽(1)中心对称设置喷淋装置(3)，所述喷淋装置(3)包括喷淋管(31)、固定板(32)，两个所述喷淋管(31)分别设置在所述水槽(1)前后侧壁上方，所述喷淋管(31)两端设置固定板(32)，两个所述固定板(32)分别固定设置在所述水槽(1)左右两侧面上，所述喷淋管(31)开设多个喷淋孔(33)；所述水槽(1)左侧面设置水阻箱(4)，所述水阻箱(4)内设置水阻计(5)；所述水槽(1)内设置过滤板(6)并通过固定柱(7)固定在所述水槽(1)底面上，所述水槽(1)左侧面下方前后两端分别设置进水管(8)，所述水槽(1)底面设置两个排水阀(9)。

2.根据权利要求1所述的一种快排清洗槽，其特征在于：所述水槽(1)底面...

【专利技术属性】
技术研发人员：朱磊，王从好，
申请(专利权)人：昆山宜昊设备科技有限公司，
类型：新型
国别省市：