一种超声水浴加热槽制造技术

本技术涉及晶圆去胶的技术领域，公开了一种超声水浴加热槽，包括壳体，壳体为无盖的方形结构，壳体内设置密封腔，密封腔底面设置出水管，密封腔与壳体之间形成加热腔，加热腔前侧面下端两侧分别穿透设置套管，套管内设置加热棒，加热腔后侧下表面设置两用管；密封腔下端设置超声发生器，超声发生器后侧面下方设置出水孔，壳体左侧面或右侧面设置浮球液位器和气缸，气缸与盖板连接，盖板转动设置在壳体上方。本技术中，超声波的振动更容易破坏胶层，从而加速去胶的速度，同时热能有助于去胶液更快地渗透到胶层的深处，使得胶层更容易被剥离，加热和超声的组合能够更彻底地去除胶层，减少残留物的产生，从而改善去胶的质量。

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及晶圆去胶的，尤其涉及一种超声水浴加热槽。

技术介绍

1、晶圆在光刻后，会有药液和光刻胶的残留，现有的除胶设备清除效果不佳，且清洗时间长，除胶效果不彻底，可能会导致光刻胶或者除胶剂的残留物留在晶圆表面，影响后续工艺步骤的进行，甚至影响器件的性能，晶圆内缝隙存有难以去除的胶，现有去胶设备会有残留胶的产生影响去胶质量，因此，针对上述问题，提出一种超声水浴加热槽。

技术实现思路

1、为实现上述目的，本技术提供了如下技术方案：一种超声水浴加热槽，包括壳体，所述壳体为无盖的方形结构，所述壳体内设置密封腔，所述密封腔底面设置出水管，所述密封腔与所述壳体之间形成加热腔，所述加热腔环绕在所述密封腔四周，所述加热腔前侧面下端两侧分别穿透设置套管，所述套管内设置加热棒，所述加热腔后侧下表面设置两用管；所述密封腔下端设置超声发生器，所述超声发生器后侧面下方设置出水孔，所述壳体左侧面或右侧面设置浮球液位器和气缸，所述气缸与盖板连接，所述盖板转动设置在所述壳体上方。

2、进一步地，所述密封腔底面四角设置固定柱，所述本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种超声水浴加热槽，其特征在于：包括壳体(1)，所述壳体(1)为无盖的方形结构，所述壳体(1)内设置密封腔(2)，所述密封腔(2)底面设置出水管(3)，所述密封腔(2)与所述壳体(1)之间形成加热腔(4)，所述加热腔(4)环绕在所述密封腔(2)四周，所述加热腔(4)前侧面下端两侧分别穿透设置套管(5)，所述套管(5)内设置加热棒，所述加热腔(4)后侧下表面设置两用管(6)；所述密封腔(2)下端设置超声发生器(7)，所述超声发生器(7)后侧面下方设置出水孔(8)，所述壳体(1)左侧面或右侧面设置浮球液位器(9)和气缸(10)，所述气缸(10)与盖板(11)连接，所述盖板(11)转动设置...

【技术特征摘要】

1.一种超声水浴加热槽，其特征在于：包括壳体(1)，所述壳体(1)为无盖的方形结构，所述壳体(1)内设置密封腔(2)，所述密封腔(2)底面设置出水管(3)，所述密封腔(2)与所述壳体(1)之间形成加热腔(4)，所述加热腔(4)环绕在所述密封腔(2)四周，所述加热腔(4)前侧面下端两侧分别穿透设置套管(5)，所述套管(5)内设置加热棒，所述加热腔(4)后侧下表面设置两用管(6)；所述密封腔(2)下端设置超声发生器(7)，所述超声发生器(7)后侧面下方设置出水孔(8)，所述壳体(1)左侧面或右侧面设置浮球液位器(9)和气缸(10)，所述气缸(10)与盖板(11)连接，所述盖板(11)转动设置在所述壳体(1)上方。

2.根据权利要求1所述的一种超声水浴加热槽，其特征在于：所述密封...

【专利技术属性】
技术研发人员：王从好，胡春波，李川，
申请(专利权)人：昆山宜昊设备科技有限公司，
类型：新型
国别省市：