【技术实现步骤摘要】
本技术涉及机械手臂的，尤其涉及一种摆臂动力结构。
技术介绍
1、晶圆在生产完成后，需要去除晶圆表面微粒杂质和残留化学试剂，洁净晶圆表面，在进行清洗时需要经过多次的药液浸泡，然而在晶圆进行转移的过程中，晶圆与移动设备或容器之间可能发生碰撞或摩擦，导致晶圆表面划伤或磨损，影响晶片的质量和性能，因此，针对上述问题，提出一种摆臂动力结构。
技术实现思路
1、为实现上述目的，本技术提供了如下技术方案：一种摆臂动力结构，包括底板，所述底板上表面设置两个支架，两个所述支架竖直设置在所述底板上，两个所述支架上端设置控制电机，所述控制电机前端设置转动装置，所述转动装置一端与所述控制电机连接，另一端与转轴末端转动连接，所述转轴前端设置提篮。
2、进一步地，所述转动装置包括固定板，两个所述固定板之间设置齿轮一和齿轮二，所述齿轮一和所述齿轮二分别设置在所述固定板的两端，所述齿轮一与所述控制电机轴承连接，所述齿轮二与所述转轴轴承连接，所述齿轮一与所述齿轮二之间通过链条连接。
3、进一步地，所...
【技术保护点】
1.一种摆臂动力结构，其特征在于：包括底板(1)，所述底板(1)上表面设置两个支架(2)，两个所述支架(2)竖直设置在所述底板(1)上，两个所述支架(2)上端设置控制电机(3)，所述控制电机(3)前端设置转动装置(4)，所述转动装置(4)一端与所述控制电机(3)连接，另一端与转轴(5)末端转动连接，所述转轴(5)前端设置提篮(6)。
2.根据权利要求1所述的一种摆臂动力结构，其特征在于：所述转动装置(4)包括固定板(41)，两个所述固定板(41)之间设置齿轮一(42)和齿轮二(43)，所述齿轮一(42)和所述齿轮二(43)分别设置在所述固定板(41)的两端...
【技术特征摘要】
1.一种摆臂动力结构，其特征在于：包括底板(1)，所述底板(1)上表面设置两个支架(2)，两个所述支架(2)竖直设置在所述底板(1)上，两个所述支架(2)上端设置控制电机(3)，所述控制电机(3)前端设置转动装置(4)，所述转动装置(4)一端与所述控制电机(3)连接，另一端与转轴(5)末端转动连接，所述转轴(5)前端设置提篮(6)。
2.根据权利要求1所述的一种摆臂动力结构，其特征在于：所述转动装置(4)包括固定板(41)，两个所述固定板(41)之间设置齿轮一(42)和齿轮二(43)，所述齿轮一(42)和所述齿轮二(43)分别设置在所述固定板(41)的两端，所述齿轮一(42)与所述控制电机(3)轴承连接，所述齿轮二(43)与所述转轴(5)轴承连接，所述齿轮一(42)与所述齿轮二(43)之间通过链条(44)连接。
3.根据权利要求2所述...
【专利技术属性】
技术研发人员：王从好，胡春波，李川，
申请(专利权)人：昆山宜昊设备科技有限公司，
类型：新型
国别省市：
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