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本技术涉及晶圆清洗的技术领域，公开了一种快排清洗槽，包括水槽，水槽前后两侧面设置固定支架，水槽上方设置喷淋装置，喷淋装置包括喷淋管、固定板，两个喷淋管分别设置在水槽前后侧壁上方，喷淋管两端设置固定板，两个固定板分别设置在水槽左右两侧面上，喷...
该专利属于昆山宜昊设备科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过昆山宜昊设备科技有限公司授权不得商用。

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