一种手动精密调节镜筒垂直度的装置制造方法及图纸

本技术属于接近式掩膜光刻设备技术领域，公开了一种手动精密调节镜筒垂直度的装置，包括固定座，固定座一侧的两端对称设有连接块，一对连接块的一侧均安装有固定块，每对连接块和固定块的之间均设有固定槽，两对固定槽的内部均夹持有连接座，一对连接座的一侧均转动连接有X轴，一对连接座的其中一个内部安装有调节机构一，且调节机构一与X轴传动连接，一对X轴的之间固定连接有安装座，安装座的内部转动安装有Y轴，安装座的内部安装有调节机构二，且调节机构二与Y轴传动连接。本装置通过调节机构一和调节机构二的配合使用，能够精密控制镜筒本体纵向和横向角度的调节，消除套刻误差，大大降低了加工精度需求和装调难度。

【技术实现步骤摘要】

本技术属于接近式掩膜光刻设备，更具体地说，特别涉及一种手动精密调节镜筒垂直度的装置。

技术介绍

1、接近式掩膜光刻设备指掩膜板与光刻胶基底层需要保留一个微小的缝隙(gap)，gap大约为0～200μm，可以有效避免与光刻胶直接接触而引起的掩膜板损伤，使掩膜和光刻胶基底能耐久使用；掩模寿命长(可提高10倍以上)，图形缺陷少，接近式掩膜光刻设备在现代光刻工艺中应用最为广泛。

2、由于接近式掩膜曝光需要精确的调整掩膜板和晶片之间的间隙gap，对工件台的精度要求比较高，并且一般曝光都需要多次曝光，多次曝光中上次图案和下次需要对准，称为套刻对位，套刻对位是通过两个对位视觉组件来完成的，两个镜头之间的相互平行度，以及镜头相对于晶片的垂直度决定了套刻误差，而两个镜头存在角度误差，画面中掩膜版的标记和晶圆的标记不在同一层，就会产生外扩或者内缩的现象，影响套刻精度，因此对加工精度和装调技术要求比较高。

3、于是，有鉴于此，针对现有的结构及缺失予以研究改良，提供一种手动精密调节镜筒垂直度的装置，以期达到更加具有实用价值性的目的。p>

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【技术保护点】

1.一种手动精密调节镜筒垂直度的装置，包括固定座(1)，其特征在于：所述固定座(1)一侧的两端对称设有连接块(103)，一对所述连接块(103)的一侧均安装有固定块(2)，每对所述连接块(103)和固定块(2)的之间均设有固定槽(201)，两对所述固定槽(201)的内部均夹持有连接座(3)，一对所述连接座(3)的一侧均转动连接有X轴(301)，一对所述连接座(3)的其中一个内部安装有调节机构一，且所述调节机构一与X轴(301)传动连接，一对所述X轴(301)的之间固定连接有安装座(4)，所述安装座(4)的内部转动安装有Y轴(401)，所述安装座(4)的内部安装有调节机构二，且所述调节机构...

【技术特征摘要】

1.一种手动精密调节镜筒垂直度的装置，包括固定座(1)，其特征在于：所述固定座(1)一侧的两端对称设有连接块(103)，一对所述连接块(103)的一侧均安装有固定块(2)，每对所述连接块(103)和固定块(2)的之间均设有固定槽(201)，两对所述固定槽(201)的内部均夹持有连接座(3)，一对所述连接座(3)的一侧均转动连接有x轴(301)，一对所述连接座(3)的其中一个内部安装有调节机构一，且所述调节机构一与x轴(301)传动连接，一对所述x轴(301)的之间固定连接有安装座(4)，所述安装座(4)的内部转动安装有y轴(401)，所述安装座(4)的内部安装有调节机构二，且所述调节机构二与y轴(401)传动连接，所述y轴(401)的一端延伸至安装座(4)的一侧外部并固定连接有安装块一(5)，所述安装块一(5)的一侧安装有安装块二(6)，所述安装块一(5)和安装块二(6)的之间设有夹持槽(601)，且所述夹持槽(601)的内部夹持有镜筒本体(7)。

2.如权利要求1所述手动精密调节镜筒垂直度的装置，其特征在于：所述调节机构一包括齿轮一(302)、齿轮二(304)和调节旋钮(303)，所述齿轮一(302)固定连接在x轴(301)位于连接座(3)内部的一端，所述调节旋钮(303)安装在连接座(3)的外侧，所述调节旋钮(303)的一端延伸至连接座(3)的内部并与齿轮二(304)固定连接，且所述齿轮二(304)与齿轮一(302)的一侧相互啮合。

3.如权利要求1所述手动精密调节镜筒垂直度的装置，其特征在于：所述调节机...

【专利技术属性】
技术研发人员：傅舰艇，林世超，邹林，
申请(专利权)人：苏州中特微电子科技有限公司，
类型：新型
国别省市：