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本技术属于接近式掩膜光刻设备技术领域，公开了一种手动精密调节镜筒垂直度的装置，包括固定座，固定座一侧的两端对称设有连接块，一对连接块的一侧均安装有固定块，每对连接块和固定块的之间均设有固定槽，两对固定槽的内部均夹持有连接座，一对连接座的一侧...
该专利属于苏州中特微电子科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过苏州中特微电子科技有限公司授权不得商用。

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