300mm立式氧化炉保温桶制造技术

本发明专利技术公开了一种３００ｍｍ立式氧化炉保温桶，其特征在于：设有底部石英板（１）、中间石英片（２）、支撑杆（３）和顶部石英板（４），所述支撑杆为数个，垂直固定安装在底部石英板和顶部石英板之间，所述石英片为多片，横向间隔均匀地固定安装在支撑杆上；在顶部石英板的上表面设有用于固定石英舟的固定槽（４．１）。所述底部石英板、顶部石英板为圆环形；中间石英片为圆片形，并且该中间石英片的结构为中间是ＯＰ材料层（２．１），上下两层及周边为高纯透明石英板材包覆层（２．２）。本发明专利技术适用于立式氧化炉的石英舟的支撑和保温，结构完善，保温效果好，洁净度高，能保证加工质量。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术属于一种硅片加工装置，具体的是一种用于硅片加热氧化工艺的氧 化炉的保温桶。
技术介绍
硅片是一种重要的半导体材料，它的加工处理，特别是氧化处理是一种非 常精密的工艺。目前国内使用的硅片氧化炉大多是卧式结构。国际上已经普遍 采用立式氧化炉来为硅片做氧化工艺。为了提高保温效果，过去多采用真空保 温桶，即采用石英板焊接成圆柱型腔体，内部填充石英棉或者其它保温隔热材 料，为了防止这些材料污染工艺，通常的做法是把它们密封在石英腔体内部， 同时抽真空，以防止工艺升降温的过程中产生炸裂。虽然此类保温桶隔热效果 比较好，但制作工艺复杂，成本比较高，而且在制作及工艺过程中容易炸裂， 对生产线造成巨大损失。因此，需要提出一种新结构的立式氧化炉内用于石英 舟的保温和与炉门连接装置新型保温桶。
技术实现思路
本专利技术的目的是为了解决上述技术问题，提出一种300mm立式氧化炉保 温桶，该保温桶制作工艺简单，成本低，保温效果好，洁净度高，而且安全可 靠稳定。本专利技术的目的是通过以下技术方案来实现的300mm立式氧化炉保温桶， 其特征在于设有底部石英板、中间石英片、支撑杆和顶部石英板，所述支撑 杆为数个，垂直安装在底部石英板和顶部石英板之间，所述石英片为多片，横 向间隔均匀地固定安装在支撑杆上；在顶部石英板的上表面设有用于固定石英舟的固定槽。所述底部石英板、顶部石英板为圆环形；中间石英片为圆片形，并且该中间石英片的结构为中间层采用OP材料，上下两层及周边是高纯透明石英板材包覆。本专利技术设有数个支撑杆起支撑作用，多片中间石英片，石英片数量多于其 它同类的产品，可以更加有效的减少热量的流失。起到保温隔热的效果。中间石英片采用了三明治的形式，中间板材采用OP材料，上下两面及周边是高纯透明石英板材包覆，实验证明它比单一透明石英片能更加有效的减少了工艺 管热量的散失。同时由于有高纯透明石英板的包覆，阻挡了OP板材容易产生 颗粒及杂质的扩散现象的发生，防止了污染硅片的事件。对高端工艺有很好的 工艺适用性。底部石英板及顶部石英板分别与石英舟和石英炉门板连接，确保 连接位置的准确及运行的可靠性。本专利技术具有制作工艺简单，成本相对低，保 温效果别好，洁净度高，而且安全、可靠、稳定的优点。 附图说明图l是本专利技术的结构示意图； 图2是本专利技术顶部和底部石英板俯视图； 图3是石英板的内部结构示意图。 具体实施例方式下面结合附图和实施例对本专利技术作进一步的说明实施例参见附图， 300mm立式氧化炉保温桶，设有底部石英板1、中间石英片2、支撑杆3和顶 部石英板4，所述支撑杆为4个，垂直固定安装在底部石英板和顶部石英板之 间，所述石英片为19片，横向间隔均匀地固定安装在支撑杆上；在顶部石英板 的上表面设有用于固定石英舟的3固定槽4.1。所述底部石英板、顶部石英板为 圆环形；中间石英片为圆片形，并且该中间石英片的结构为中间是OP材料层 2.1，上下两层及周边为高纯透明石英板材包覆层2.2。权利要求1、一种300mm立式氧化炉保温桶，其特征在于设有底部石英板(1)、中间石英片(2)、支撑杆(3)和顶部石英板(4)，所述支撑杆为数个，垂直固定安装在底部石英板和顶部石英板之间，所述石英片为多片，横向间隔均匀地固定安装在支撑杆上；在顶部石英板的上表面设有用于固定石英舟的固定槽(4.1)。2、 根据权利要求1所述的氧化炉保温桶，其特征在于所述底部石英 板、顶部石英板为圆环形；中间石英片为圆片形，并且该中间石英片的结构 为中间是OP材料层(2.1)，上下两层及周边为高纯透明石英板材包覆层(2.2)。全文摘要本专利技术公开了一种300mm立式氧化炉保温桶，其特征在于设有底部石英板(1)、中间石英片(2)、支撑杆(3)和顶部石英板(4)，所述支撑杆为数个，垂直固定安装在底部石英板和顶部石英板之间，所述石英片为多片，横向间隔均匀地固定安装在支撑杆上；在顶部石英板的上表面设有用于固定石英舟的固定槽(4.1)。所述底部石英板、顶部石英板为圆环形；中间石英片为圆片形，并且该中间石英片的结构为中间是OP材料层(2.1)，上下两层及周边为高纯透明石英板材包覆层(2.2)。本专利技术适用于立式氧化炉的石英舟的支撑和保温，结构完善，保温效果好，洁净度高，能保证加工质量。文档编号H01L21/316GK101552198SQ20081024115公开日2009年10月7日 申请日期2008年12月31日 优先权日2008年12月31日专利技术者胡星强, 艾伦·埃马米, 董金卫, 赵星梅, 华 钟 申请人:北京七星华创电子股份有限公司本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种３００ｍｍ立式氧化炉保温桶，其特征在于：设有底部石英板（１）、中间石英片（２）、支撑杆（３）和顶部石英板（４），所述支撑杆为数个，垂直固定安装在底部石英板和顶部石英板之间，所述石英片为多片，横向间隔均匀地固定安装在支撑杆上；在顶部石英板的上表面设有用于固定石英舟的固定槽（４．１）。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：钟华，董金卫，赵星梅，胡星强，艾伦埃马米，
申请(专利权)人：北京七星华创电子股份有限公司，
类型：发明
国别省市：11[中国|北京]