抬升调节组件及晶圆驱动装置制造方法及图纸

本申请公开了一种抬升调节组件及晶圆驱动装置，抬升调节组件包括抬升面板、升降面板、旋转轴、升降轴、第一升降组件、第二升降组件，升降面板包括自上而下排布的第一升降板、第二升降板、第三升降板和第四升降板，相邻两个升降板之间能够沿设定方向相对移动，旋转轴沿竖直方向延伸并穿设于抬升面板，升降轴与抬升面板固定连接，升降轴围绕旋转轴的轴线周向分布，第一升降组件设于第二升降板和第三升降板之间，并驱动第二升降板沿第一方向运动，第二升降组件设于第三升降板和第四升降板之间，并驱动第三升降板沿第二方向运动，第一方向与第二方向不重合。通过上述设置，便于调节升降轴与旋转轴的同轴度，从而提升晶圆覆膜的均匀性。

【技术实现步骤摘要】

本申请涉及晶圆加工，尤其是指一种抬升调节组件及晶圆驱动装置。

技术介绍

1、外延生长设备作为化学气相沉积原理进行工艺的一种常见设备，通常包括反应腔系统及晶圆传输系统等部分组成。其中反应腔系统具有承载晶圆、进行沉积等功能。

2、现有的反应腔系统包括反应腔以及由基座和抬升调节组件等构成的晶圆驱动装置。目前抬升调节组件均设置有旋转轴和升降轴，旋转轴与基座连接，其中，升降轴基本套设在旋转轴上并与旋转轴保持一定的距离，由于旋转轴自身能够转动并带动基座和设置在基座上方的晶圆转动，因而旋转轴要避免与升降轴产生干涉，目前现有的抬升调节组件的调节能力有限，当旋转轴和升降轴安装完成后，除了拆卸便无法对旋转轴与升降轴进行同轴度的调节，从而导致抬升调节组件的调节能力较差。

技术实现思路

1、为了解决现有技术的不足，本申请的目的在于提供一种能够调节旋转轴和抬升轴同轴度抬升调节组件及晶圆驱动装置。

2、为实现上述目的，本申请采用如下的技术方案：

3、第一方面，本申请提供了一种抬升调节组件，应用于晶圆驱本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种抬升调节组件，应用于晶圆驱动装置，其特征在于，所述抬升调节组件包括：

2.根据权利要求1所述的抬升调节组件，其特征在于，

3.根据权利要求1所述的抬升调节组件，其特征在于，

4.根据权利要求1所述的抬升调节组件，其特征在于，

5.根据权利要求4所述的抬升调节组件，其特征在于，

6.根据权利要求1所述的抬升调节组件，其特征在于，

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9.根据权利要求1所述的抬升调节组件，其特征在于，...

【技术特征摘要】

1.一种抬升调节组件，应用于晶圆驱动装置，其特征在于，所述抬升调节组件包括：

2.根据权利要求1所述的抬升调节组件，其特征在于，

3.根据权利要求1所述的抬升调节组件，其特征在于，

4.根据权利要求1所述的抬升调节组件，其特征在于，

5.根据权利要求4所述的抬升调节组件，其...

【专利技术属性】
技术研发人员：曹建伟，朱凌锋，郭丽兵，寿康力，汪志杰，陶梦竹，罗通，
申请(专利权)人：浙江求是创芯半导体设备有限公司，
类型：新型
国别省市：