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本申请公开了一种抬升调节组件及晶圆驱动装置,抬升调节组件包括抬升面板、升降面板、旋转轴、升降轴、第一升降组件、第二升降组件,升降面板包括自上而下排布的第一升降板、第二升降板、第三升降板和第四升降板,相邻两个升降板之间能够沿设定方向相对移动,...该专利属于浙江求是创芯半导体设备有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过浙江求是创芯半导体设备有限公司授权不得商用。
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