下载抬升调节组件及晶圆驱动装置的技术资料

文档序号:43378251

温馨提示:您尚未登录,请点 登陆 后下载,如果您还没有账户请点 注册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。

本申请公开了一种抬升调节组件及晶圆驱动装置,抬升调节组件包括抬升面板、升降面板、旋转轴、升降轴、第一升降组件、第二升降组件,升降面板包括自上而下排布的第一升降板、第二升降板、第三升降板和第四升降板,相邻两个升降板之间能够沿设定方向相对移动,...
该专利属于浙江求是创芯半导体设备有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过浙江求是创芯半导体设备有限公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示:您尚未登录,请点 登陆 后下载,如果您还没有账户请点 注册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。