【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及超高真空表面清洁技术，属于超高真空技术和科学仪器，具体涉及一种可差抽超高真空溅射离子枪。
技术介绍
1、溅射离子枪是一种用于超高真空表面清洁的常用设备。其主要工作气体为惰性气体，如ar和ne，通气压力一般为本底真空5×10-6至5×10-5mbar。离子动能约为0-5kev，离子电流最大为20微安左右，一般来说进气压力越高，离子电流越大。目前该类装置已有一些国际厂商提供商业化产品，例如specs公司的iqe 11/35，prevac公司的is40c1，oci公司的ig35-dp，rdb公司的ig2，psp公司的psp3000。这些离子枪的结构较为类似，都是具有阴极灯丝、阳极栅网、抽取电极和聚焦电极的结构。在阳极栅网中气体经电子束轰击得到电离化的离子，由抽取电极抽出，并经过聚焦电极聚焦形成准直的离子束。束斑尺寸一般为10mm以内。specs和prevac公司的产品，通过良好的抽取电极和阳极栅网尺寸参数设计，使得抽取电极抽取得到的离子束已经具有较好的准直性，所以去掉了聚焦电极的设计，但这样的设计也导致了束斑尺寸不可调。同时，良...
【技术保护点】
1.一种可差抽超高真空溅射离子枪，其特征在于，包括离子化器(1)、进气毛细管(2)、电馈通(3)和微漏阀(4)；其中，电馈通(3)用于为离子化器(1)提供电能；进气毛细管(2)两端分别连接离子化器(1)和微漏阀(4)，用于将微漏阀(4)引入的气体导向进入离子化器(1)。
2.根据权利要求1所述的离子枪，其特征在于，还包括差抽三通管(5)，所述差抽三通管(5)与离子化器(1)连接用于对离子化器(1)外围区域进行差分抽气以降低离子化器(1)外围区域的气体压力。
3.根据权利要求1所述的离子枪，其特征在于，所述离子化器(1)包括阳极栅网(11)和阴极...
【技术特征摘要】
1.一种可差抽超高真空溅射离子枪，其特征在于，包括离子化器(1)、进气毛细管(2)、电馈通(3)和微漏阀(4)；其中，电馈通(3)用于为离子化器(1)提供电能；进气毛细管(2)两端分别连接离子化器(1)和微漏阀(4)，用于将微漏阀(4)引入的气体导向进入离子化器(1)。
2.根据权利要求1所述的离子枪，其特征在于，还包括差抽三通管(5)，所述差抽三通管(5)与离子化器(1)连接用于对离子化器(1)外围区域进行差分抽气以降低离子化器(1)外围区域的气体压力。
3.根据权利要求1所述的离子枪，其特征在于，所述离子化器(1)包括阳极栅网(11)和阴极灯丝(12)，所述阳极栅网(11)呈圆筒网状结构，阴极灯丝(12)围绕阳极栅网(11)靠近底部的位置固定；所述阴极灯丝(12)与阳极栅网(11)之间存在50-200v的压差。
4.根据权利要求3所述的离子枪，其特征在于，还包括抽取电极(6)，所述抽取电极(6)为片状结构且底面向下延伸有筒状凸起部(61)，抽取电极(6)罩扣在阳极栅网(11)...
【专利技术属性】
技术研发人员：陈其伟，吴凯，何李洛，张冬柏，
申请(专利权)人：北京大钲科技有限公司，
类型：发明
国别省市：
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