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本发明公开了一种可差抽超高真空溅射离子枪，包括离子化器、进气毛细管、电馈通和微漏阀；电馈通用于为离子化器提供电能；进气毛细管两端分别连接离子化器和微漏阀，用于将微漏阀引入的气体导向进入离子化器。气体在毛细管内形成分子束，具有较好的准直性，可...
该专利属于北京大钲科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过北京大钲科技有限公司授权不得商用。

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