【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及半导体设备制造，具体涉及pecvd设备上的spindle主轴连接结构。
技术介绍
1、spindle主轴是pecvd工艺腔室多硅片工位搬运机构，它确保多硅片在沉积过程中能够同步移动，按工艺需求进行换位，以保持沉积薄膜的均匀性。spindle的动力来源于dd马达，当前该主轴与dd马达的连接方式通过底座实现，尽管这种方式简化了结构，但也存在一些显著的缺陷。
2、底座的设计初衷在于与dd马达内圈紧密连接，其内孔用于安装涨套，通过涨套的锥面结构将主轴与底座牢固地涨紧固定。然而，轴孔衔接方式，由于不使用键槽或联轴节，其稳定性完全依赖于涨套的锥面涨紧效果。这种方式存在的缺陷在于：
3、dd马达内圈的上下位置在组装过程中难以精确控制，这完全取决于组装工人的操作技巧。这种不确定性导致dd马达内圈与外圈的相对位置无法得到保证，从而可能影响dd马达输出力矩的最大化。
4、涨套通过六个均匀分布的螺丝进行锁紧。然而，这种锁紧方式可能导致受力不均，即一侧受力大，而另一侧受力小，进而引发主轴的偏心问题，对系统的稳定性和精度造成不利影响。
5、综上所述，尽管当前的主轴与dd马达连接方式简化了结构，但其存在的缺陷不容忽视，需要进一步改进和优化。
技术实现思路
1、本专利技术的目的在于，提供pecvd设备上的spindle主轴连接结构，通过增加辅助主轴丝杆，克服dd马达内圈磁铁的吸力，增加主轴的刚性，避免变形。
2、为实现上述目的，本申请的技
3、dd马达，用于驱动主轴；
4、转接底座，嵌套在dd马达内圈，用于传递驱动力；
5、多功能轴端锁紧螺母，位于转接底座顶部凹槽内，且套接在主轴上将主轴进行锁紧；
6、辅助主轴丝杆，设置在主轴下方且上部伸进转接底座内，用于克服dd马达内圈磁铁吸力，防止主轴变形；
7、丝杆螺母，套接在辅助主轴丝杆上；
8、滚珠轴承，位于丝杆螺母与转接底座之间。
9、在其中一个实施例中，所述辅助主轴丝杆安装在辅助座上，在辅助座底部设有套接在辅助主轴丝杆上的紧固螺母，用于固定辅助主轴丝杆。
10、在其中一个实施例中，在多功能轴端锁紧螺母上方设有套接在主轴上的一对向心球轴承。
11、在其中一个实施例中，位于下面的向心球轴承内圈与多功能轴端锁紧螺母之间设有垫圈。
12、在其中一个实施例中，位于下面的向心球轴承外圈卡接在轴承挡块上面。
13、在其中一个实施例中，所述滚珠轴承位于轴承内套上，该轴承内套固定在丝杆螺母上。
14、在其中一个实施例中，所述滚珠轴承下面设有卡簧，该卡簧嵌入转接底座凹槽内。
15、在其中一个实施例中，所述多功能轴端锁紧螺母通过多个紧固螺栓与转接底座相连。
16、在其中一个实施例中，所述多功能轴端锁紧螺母外圈设有多个拧紧槽，且在多功能轴端锁紧螺母上开有调节间隙。
17、在其中一个实施例中，所述多功能轴端锁紧螺母横向设有夹紧台阶孔，当多功能轴端锁紧螺母对主轴锁紧后，将夹紧螺丝放置于夹紧台阶孔内。
18、本专利技术由于采用以上技术方案，能够取得如下的技术效果：本专利技术中dd马达内圈通过转接底座与主轴连接，减少了传动过程中的误差累积，从而确保了主轴运动的精确性。这种高精度的定位能力对于pecvd等精密工艺过程至关重要，能够确保沉积薄膜的均匀性。无需经过复杂的传动机构，从而减少了能量在传动过程中的损失，提高了整体效率。
19、通过辅助主轴克服dd马达内圈磁铁的吸力，增加主轴的刚性，避免变形，防止dd马达内圈和外圈接触产生摩擦。辅助主轴的设计巧妙融合了丝杆螺母和丝杆本身的结构特点，实现了空间利用的最大化。通过将丝杆巧妙地安置在dd马达内圈内部，显著减少了spindle主体的z向尺寸，使得整体结构更加紧凑、轻量化。
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1.PECVD设备上的spindle主轴连接结构，其特征在于，包括：
2.根据权利要求1所述PECVD设备上的spindle主轴连接结构，其特征在于，所述辅助主轴丝杆安装在辅助座上，在辅助座底部设有套接在辅助主轴丝杆上的紧固螺母，用于固定辅助主轴丝杆。
3.根据权利要求1所述PECVD设备上的spindle主轴连接结构，其特征在于，在多功能轴端锁紧螺母上方设有套接在主轴上的一对向心球轴承。
4.根据权利要求3所述PECVD设备上的spindle主轴连接结构，其特征在于，位于下面的向心球轴承内圈与多功能轴端锁紧螺母之间设有垫圈。
5.根据权利要求3所述PECVD设备上的spindle主轴连接结构，其特征在于，位于下面的向心球轴承外圈卡接在轴承挡块上面。
6.根据权利要求1所述PECVD设备上的spindle主轴连接结构，其特征在于，所述滚珠轴承位于轴承内套上，该轴承内套固定在丝杆螺母上。
7.根据权利要求1所述PECVD设备上的spindle主轴连接结构，其特征在于，所述滚珠轴承下面设有卡簧，该卡簧嵌入转接底座
8.根据权利要求1所述PECVD设备上的spindle主轴连接结构，其特征在于，所述多功能轴端锁紧螺母通过多个紧固螺栓与转接底座相连。
9.根据权利要求1所述PECVD设备上的spindle主轴连接结构，其特征在于，所述多功能轴端锁紧螺母外圈设有多个拧紧槽，且在多功能轴端锁紧螺母上开有调节间隙。
10.根据权利要求1所述PECVD设备上的spindle主轴连接结构，其特征在于，所述多功能轴端锁紧螺母横向设有夹紧台阶孔，当多功能轴端锁紧螺母对主轴锁紧后，将夹紧螺丝放置于夹紧台阶孔内。
...【技术特征摘要】
1.pecvd设备上的spindle主轴连接结构，其特征在于，包括：
2.根据权利要求1所述pecvd设备上的spindle主轴连接结构，其特征在于，所述辅助主轴丝杆安装在辅助座上，在辅助座底部设有套接在辅助主轴丝杆上的紧固螺母，用于固定辅助主轴丝杆。
3.根据权利要求1所述pecvd设备上的spindle主轴连接结构，其特征在于，在多功能轴端锁紧螺母上方设有套接在主轴上的一对向心球轴承。
4.根据权利要求3所述pecvd设备上的spindle主轴连接结构，其特征在于，位于下面的向心球轴承内圈与多功能轴端锁紧螺母之间设有垫圈。
5.根据权利要求3所述pecvd设备上的spindle主轴连接结构，其特征在于，位于下面的向心球轴承外圈卡接在轴承挡块上面。
6.根据权利要求1所述pecvd设备上的sp...
【专利技术属性】
技术研发人员：包驷璋，徐家庆，唐丽娜，
申请(专利权)人：大连皓宇电子科技有限公司，
类型：发明
国别省市：
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