基板处理装置制造方法及图纸

基板处理装置具备处理块、两个开闭器以及两个基板交接机器人。处理块具有基板入口及基板出口，在基板入口接收未处理的基板，并对基板进行预先设定的处理。处理后的基板被引导至基板出口。一方的开闭器在与基板入口对应的位置将收纳有未处理的基板的一前开式晶圆传送盒的盖打开。一方的基板交接机器人从一前开式晶圆传送盒取出基板，并移交到处理块的基板入口。另一方的开闭器在与基板出口对应的位置将空的另一前开式晶圆传送盒的盖打开。另一方的基板交接机器人从处理块的基板出口接收基板，并插入另一前开式晶圆传送盒。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】

本专利技术涉及一种在处理槽中处理多张基板的基板处理装置。

技术介绍

1、为了对半导体基板、液晶显示设备或有机el(electro luminescence：电致发光)显示设备等fpd(flat panel display：平板显示器)用基板、光盘用基板、磁盘用基板、磁光盘用基板、光掩模用基板、陶瓷基板或太阳能电池用基板等基板进行各种处理，使用基板处理装置。

2、作为这样的基板处理装置，具有将多张基板浸渍于在处理槽中所贮存的处理液中而进行蚀刻等处理的批量式的基板处理装置。例如，专利文献1记载的批量式的基板处理装置包括前开式晶圆传送盒保持部、基板处理部以及搬入搬出机构。前开式晶圆传送盒保持部构成为可以保持前开式晶圆传送盒(foup：front opening unified pod)。前开式晶圆传送盒是构成为可以以多张基板在上下方向上以预定间距排列的方式，将多张基板一边以水平姿势保持一边收纳的收纳器。前开式晶圆传送盒具有用于从前开式晶圆传送盒的外部对该前开式晶圆传送盒的内部空间进行访问的开口以及用于将该开口开闭的盖。在前开式晶圆传送盒保持部设置有用本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种基板处理装置，其特征在于，具备：

2.根据权利要求1所述的基板处理装置，其特征在于，

3.根据权利要求2所述的基板处理装置，其特征在于，

4.根据权利要求1～3中任一项所述的基板处理装置，其特征在于，

5.根据权利要求4所述的基板处理装置，其特征在于，

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】

1.一种基板处理装置，其特征在于，具备：

2.根据权利要求1所述的基板处理装置，其特征在于，

3.根据权利要求2所述的基板处理装置...

【专利技术属性】
技术研发人员：天久贤治，谷口进一，岩崎旭纮，
申请(专利权)人：株式会社斯库林集团，
类型：发明
国别省市：