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基板处理装置具备处理块、两个开闭器以及两个基板交接机器人。处理块具有基板入口及基板出口，在基板入口接收未处理的基板，并对基板进行预先设定的处理。处理后的基板被引导至基板出口。一方的开闭器在与基板入口对应的位置将收纳有未处理的基板的一前开式晶...
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