具有特定导电膜层的背接触电池及其制备和应用制造技术

本发明专利技术属于背接触电池技术领域，具体涉及一种具有特定导电膜层的背接触电池及其制备和应用，其导电膜层包含从硅片背面向外依次设置的第一透明导电膜层、第二透明导电膜层，第一透明导电膜层的折射率为1.9‑2.5、厚度为10‑30nm，第二透明导电膜层的折射率为1.4‑1.8，且控制第一透明导电膜层对应的工艺气体中以体积流量占比计的掺氧量为0.1%‑0.5%，第二透明导电膜层对应的工艺气体中以体积流量占比计的掺氧量为2.0%‑3.0%，且第一透明导电膜层、第二透明导电膜层、金属导电层的厚度之比为1：2‑5：3‑7。本发明专利技术能有效增加电池片背面对红外波段的反射，提高短路电流，进而提升电池转换效率。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术属于背接触电池，具体涉及一种具有特定导电膜层的背接触电池及其制备和应用。

技术介绍

1、现有技术的背接触电池中，在硅片背面交替设置的第一半导体层和第二半导体层，第一半导体层包含隧穿氧化层和第一掺杂多晶硅层，第二半导体层包含本征硅层和第二掺杂硅层，还包括在硅片正面依次设置的正面钝化层和减反层；且通过在第二半导体层和第二半导体层外表面背面全面积覆盖的设置金属导电层（如cu）能代替细栅以节省银浆使用量。

2、然而，背面全面积覆盖的设置金属导电层会使电池片在红外波段的反射减小，导致短路电流降低。

3、需要说明的是，本专利技术的该部分内容仅提供与本专利技术有关的
技术介绍
，而并不必然构成现有技术或公知技术。

技术实现思路

1、本专利技术的目的是为了克服现有技术存在的背接触电池中背面全面积覆盖的设置金属导电层会使电池片在红外波段的反射减小，导致短路电流降低的缺陷，提供一种具有特定导电膜层的背接触电池及其制备和应用，其能有效增加电池片背面对红外波段的反射，提高短路电流，同时能够使得在第一掺杂本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种具有特定导电膜层的背接触电池，包括硅片，在硅片背面沿X轴方向交替设置的第一半导体层和第二半导体层，以及在第一半导体层和第二半导体层外表面沿Z轴方向向外依次设置的导电膜层、金属导电层以及与金属导电层进行欧姆接触的主栅电极，其特征在于，所述导电膜层包含从硅片背面向外依次设置的第一透明导电膜层、第二透明导电膜层，第一透明导电膜层的折射率为1.9-2.5、厚度为10-30nm，第二透明导电膜层的折射率为1.4-1.8，第一透明导电膜层、第二透明导电膜层在溅射镀膜制备时均通入包含氩气、氩氧混合气的工艺气体，且控制第一透明导电膜层对应的工艺气体中以体积流量占比计的掺氧量为0.1%-0.5%，...

【技术特征摘要】

1.一种具有特定导电膜层的背接触电池，包括硅片，在硅片背面沿x轴方向交替设置的第一半导体层和第二半导体层，以及在第一半导体层和第二半导体层外表面沿z轴方向向外依次设置的导电膜层、金属导电层以及与金属导电层进行欧姆接触的主栅电极，其特征在于，所述导电膜层包含从硅片背面向外依次设置的第一透明导电膜层、第二透明导电膜层，第一透明导电膜层的折射率为1.9-2.5、厚度为10-30nm，第二透明导电膜层的折射率为1.4-1.8，第一透明导电膜层、第二透明导电膜层在溅射镀膜制备时均通入包含氩气、氩氧混合气的工艺气体，且控制第一透明导电膜层对应的工艺气体中以体积流量占比计的掺氧量为0.1%-0.5%，第二透明导电膜层对应的工艺气体中以体积流量占比计的掺氧量为2.0%-3.0%，且第一透明导电膜层、第二透明导电膜层、金属导电层的厚度之比为1：2-5：3-7。

2.根据权利要求1所述的具有特定导电膜层的背接触电池，其特征在于，所述第二透明导电膜层的厚度为30-100nm，和/或，金属导电层的厚度为50-150nm。

3.根据权利要求1所述的具有特定导电膜层的背接触电池，其特征在于，所述第一透明导电膜层的透过率在80%以上、电阻率在6e-04 ω·cm至9e-04 ω·cm；

4.根据权利要求1所述的具有特定导电膜层的背接触电池，其特征在于，第一透明导电膜层、第二透明导电膜层的折射率之比为1.25-1.50：1；

5.根据权...

【专利技术属性】
技术研发人员：林楷睿，
申请(专利权)人：金阳泉州新能源科技有限公司，
类型：发明
国别省市：