半导体研磨设备用马达空转报警装置制造方法及图纸

本技术公开了半导体研磨设备用马达空转报警装置，涉及马达技术领域；而本技术包括基座，基座的顶端固定安装有马达本体，马达本体的一端固定安装有警报器壳，警报器壳的内部活动安装有警报器本体；通过螺杆、顶板、L形板、第一弹簧、第一伸缩杆、拉把、M形板、滑槽、第二伸缩杆的配合，方便将警报器本体拆卸，需要安装警报器本体只需再将警报器本体卡入，然后松开拉把，再抽回顶板，将螺杆转动收回，紧接着通过第一弹簧、第二弹簧配合第一伸缩杆、第二伸缩杆带动L形板、M形板将警报器本体安装固定，从而实现了警报器本体的快捷装拆，更加方便快速，提升了后期装拆或更换和维护维修警报器本体的效率。

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及马达，具体为半导体研磨设备用马达空转报警装置。

技术介绍

1、“马达”为英语motor的音译，即为电动机、发动机。工作原理为通过通电线圈在磁场中受力转动带动起动机转子旋转，转子上的小齿轮带动发动机飞轮旋转。该技术产品于1912首次使用在汽车行业。

2、但是现有的半导体设备的用的马达装置的空转报警装置不方便安装拆卸，装拆效率低下，从而需要维护维修或更换时拆卸报警器就非常麻烦，针对上述问题，专利技术人提出半导体研磨设备用马达空转报警装置用于解决上述问题。

技术实现思路

1、为解决上述技术问题，本技术采用如下技术方案：半导体研磨设备用马达空转报警装置，包括基座，所述基座的顶端固定安装有马达本体，所述马达本体的一端固定安装有警报器壳，所述警报器壳的内部活动安装有警报器本体，所述警报器壳的外侧铰链安装有密封门，所述第一伸缩杆的一端固定安装有l形板，所述l形板的内侧和警报器本体贴合，所述第一伸缩杆的外侧固定安装有第一弹簧，所述第一弹簧的一端和l形板固定连接，所述警报器壳的内壁上方固定安装有第二伸缩杆本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.半导体研磨设备用马达空转报警装置，包括基座(1)，其特征在于：所述基座(1)的顶端固定安装有马达本体(2)，所述马达本体(2)的一端固定安装有警报器壳(3)，所述警报器壳(3)的内部活动安装有警报器本体(4)，所述警报器壳(3)的外侧铰链安装有密封门(21)，所述警报器壳(3)的内壁固定安装有对称分布的第一伸缩杆(11)，所述第一伸缩杆(11)的一端固定安装有L形板(13)，所述L形板(13)的内侧和警报器本体(4)贴合，所述第一伸缩杆(11)的外侧固定安装有第一弹簧(12)，所述第一弹簧(12)的一端和L形板(13)固定连接，所述警报器壳(3)的内壁上方固定安装有第二伸缩杆(14)...

【技术特征摘要】

1.半导体研磨设备用马达空转报警装置，包括基座(1)，其特征在于：所述基座(1)的顶端固定安装有马达本体(2)，所述马达本体(2)的一端固定安装有警报器壳(3)，所述警报器壳(3)的内部活动安装有警报器本体(4)，所述警报器壳(3)的外侧铰链安装有密封门(21)，所述警报器壳(3)的内壁固定安装有对称分布的第一伸缩杆(11)，所述第一伸缩杆(11)的一端固定安装有l形板(13)，所述l形板(13)的内侧和警报器本体(4)贴合，所述第一伸缩杆(11)的外侧固定安装有第一弹簧(12)，所述第一弹簧(12)的一端和l形板(13)固定连接，所述警报器壳(3)的内壁上方固定安装有第二伸缩杆(14)，所述第二伸缩杆(14)的一端固定安装有m形板(16)。

2.如权利要求1所述的半导体研磨设备用马达空转报警装置，其特征在于，所述第二伸缩杆(14)的外侧固定安装有第二弹簧(15)，所述第二弹簧(15)的一端和m形板(16)固定连接，所述l形板(13)的外侧开设有滑槽(17)，所述m形板(16)的两端部和滑槽(17)的内侧滑动连接，所述m形板(16)的一端...

【专利技术属性】
技术研发人员：陆铭，
申请(专利权)人：无锡贝伦思科技有限公司，
类型：新型
国别省市：