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本技术公开了半导体研磨设备用马达空转报警装置，涉及马达技术领域；而本技术包括基座，基座的顶端固定安装有马达本体，马达本体的一端固定安装有警报器壳，警报器壳的内部活动安装有警报器本体；通过螺杆、顶板、L形板、第一弹簧、第一伸缩杆、拉把、M形板...
该专利属于无锡贝伦思科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过无锡贝伦思科技有限公司授权不得商用。

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