本发明属于半导体技术领域，具体的说是一种晶圆承载载具，包括打磨顶台，打磨顶台的底部通过摩擦圆盘转动的方式，对晶圆片的上表面进行打磨工作，所述打磨顶台的下方设置有支撑部件，所述支撑部件的两侧对称设置有固定部件；所述支撑部件具有控制底座，所...

本申请涉及半导体研磨设备配件技术的领域，尤其涉及一种半导体研磨设备用线缆保护固定装置，其包括安装块和L型连接板，安装块上开设有定位孔，定位孔贯穿安装块相对的表面，定位孔为梅花孔可供四条线缆对应穿过四个孔槽，安装块上设有用于将线缆卡紧于定...

本技术涉及夹具技术领域，且公开了一种装夹夹具结构，包括底座组件，底座组件顶部固定连接有两个定位柱，两个定位柱侧壁底端固定连接有底块，两个定位柱顶端固定连接有顶块，两个定位柱侧壁活动套接有移动块，底块与移动块一侧均固定连接有夹板组件，顶块...

本发明公开了一种半导体研磨过程化学清洗液处理循环装置，本发明涉及半导体技术领域

涉及开槽技术领域，本实用新型公开了一种流通开槽结构，包括盒体，所述盒体的上端面固定设有连接座，所述连接座的内部转动连接有转杆，所述转杆的外部转动连接有旋转柱，所述旋转柱的侧面固定连接有电机，所述电机的输出端固定连接有切割片，所述切割片的...