【技术实现步骤摘要】
本专利技术属于半导体，具体的说是一种晶圆承载载具。
技术介绍
1、化学机械抛光工艺成为集成电路制造的核心技术，化学机械抛光设备主要用于化学机械抛光工艺中，实现晶圆表面平坦化。晶圆装卸装置作为化学机械拋光设备的核心部件，其可靠性直接决定了化学机械抛光设备的长时间稳定运行；其中，晶圆装卸装置中的承载台是晶圆传输中的辅助工具，具体过程为：先通过机械手将晶圆从研磨工位上移动到承载台上，再通过移动承载台带动晶圆移动至抛光位置，最后受到驱动装置的驱动实现承载台和抛光头的定位，实现晶圆和抛光设备的接触。
2、但是在实际打磨晶圆的过程中，打磨装置会直接对晶圆造成强摩擦力，而固定晶圆的承载台可能会因为强摩擦力的作用，导致定位的位置和实际位置出现偏差，进而使晶圆打磨出现偏差，而为了使固定的晶圆在打磨过程中不与承载台发生相对滑移问题，对晶圆的固定需要牢固，这就导致晶圆在固定过程中外表面会被夹持过紧，进而出现明显的固定痕迹，所以需要进行改进。
技术实现思路
1、针对现有技术的不足，本专利技术解决其技术问题所采用的技术方案是：一种晶圆承载载具，包括打磨顶台，打磨顶台的底部通过摩擦圆盘转动的方式，对晶圆片的上表面进行打磨工作，所述打磨顶台的下方设置有支撑部件，所述支撑部件的两侧对称设置有固定部件；
2、进一步地，所述支撑部件具有控制底座，所述控制底座的外表面转动连接有分段转壳，分段转壳套在控制底座的外表面上，但是控制底座的顶部通过托盘延伸至分段转壳的顶部，并且比分段转壳的顶部高，所以可
3、进一步地，所述固定部件包括转动关节，所述转动关节的上下两侧均滑动连接有弯折连板，所述弯折连板远离转动关节的一端固定连接有加压部件，所述转动关节内腔中部靠近加压部件的一侧固定连接有水平推板，所述水平推板远离转动关节的一端固定连接有夹紧部件，转动关节主要连接上下两侧的弯折连板和中部的水平推板，以便控制拉板可以集中牵引固定部件；
4、进一步地，所述加压部件包括外置压壳，所述外置压壳内壁的底部转动连接有缓冲压带，缓冲压带在外置压壳的内部为弹性结构，可以被向下按压，所述外置压壳外表面的右侧通过竖直切槽滑动连接有被动滑块，被动滑块结构较为特殊，如图4所示，被动滑块的右侧板体贴合外置压壳的侧面，由于被动滑块的顶部可以在外置压壳内壁的右侧滑移，所以被动滑块通过顶部外置压壳的竖直切槽进行滑移，所述被动滑块内腔底部的左侧均匀设置有对接插杆，所述被动滑块内腔的右侧均匀设置有摩擦压块，所述被动滑块底部的底部通过竖直弹簧带与外置压壳的侧面固定连接，所述外置压壳内腔靠近被动滑块一侧的底部均匀开设有引流口，对接插杆在正常情况下正对底部的引流口；
5、进一步地，所述夹紧部件包括铰接夹板，铰接夹板由中部的转杆和两侧的夹板组合成，所述铰接夹板内壁的左侧通过竖直压杆固定连接有微调推力机，所述微调推力机输出轴的右端固定连接有连接通管，且连接通管的右端固定连接有橡胶夹板，所述橡胶夹板内壁的左侧设置有填充部件，微调推力机可以通过连接通管将侧方的橡胶夹板进行微幅推动，橡胶夹板的上下两侧可以向中部按压，是直接与晶圆片外表面接触的部件。
6、所述晶圆片外表面的两侧均延伸至橡胶夹板的内部，所述控制底座的顶部通过圆形托盘与晶圆片的下表面相互挤压，所述水平推板远离转动关节的一端与铰接夹板转轴的外表面固定连接，所述外置压壳的顶部与铰接夹板的外表面滑动连接。
7、进一步地，所述弯折连板内腔远离转动关节的一端固定连接有充气泵，所述充气泵输出轴的底部滑动连接有内置推盘，内置推盘将外置压壳的顶部时，充气泵无法对外置压壳的内部充气加压，如图3所示，当内置推盘下滑进入外置压壳内部时，充气泵才能对外置压壳的内部充气加压，所述内置推盘的外表面与外置压壳内壁的顶部滑动连接，所述内置推盘的底部与缓冲压带的上表面滑动连接，所述引流口的底部延伸至铰接夹板的外部。
8、所述控制拉板的一侧与控制底座的外表面固定连接，所述控制拉板的另一侧通过贯穿切槽延伸至分段转壳的外部，且控制拉板远离分段转壳的一端与底部所述弯折连板的外表面固定连接。
9、进一步地，所述填充部件包括贴壁内壳，所述贴壁内壳内腔的右侧滑动连接有扩充内胆，所述扩充内胆的左侧固定连接有固定连板，所述固定连板内腔的中部开设有引流切槽，所述固定连板外表面的左侧对称设置有移动滑板，所述移动滑板的外表面均匀设置有受力推杆，扩充内胆在膨胀的时候，右侧会将橡胶夹板与晶圆片外表面之间的空隙填充。
10、所述移动滑板外表面的一侧与贴壁内壳的内壁滑动连接，所述移动滑板外表面的另一侧与固定连板的外表面滑动连接，且移动滑板外表面远离受力推杆的一侧通过弹簧带与引流切槽的内腔固定连接。所述受力推杆远离移动滑板的一端延伸至贴壁内壳的外部，且受力推杆远离移动滑板的一端与橡胶夹板的内腔转动连接，所述扩充内胆外表面的右侧延伸至贴壁内壳的外部，所述贴壁内壳的外表面与橡胶夹板内壁的中部固定连接，铰接夹板的两侧板体夹紧时，会将受力推杆向贴壁内壳的内部按压，从而将贴壁内壳内腔左侧的气体通过引流切槽充入扩充内胆的内部，使扩充内胆充气膨胀。
11、进一步地，所述内置套环包括边缘环壳，所述边缘环壳内腔的顶部均匀设置有独立转块，所述独立转块内腔的中部转动连接有滚珠电阻，所述滚珠电阻外表面的底部通过连接导线转动连接有传输导杆，所述传输导杆的底端固定连接有保险环，内置套环的上表面通过滚珠电阻与晶圆片的下表面相互接触，当晶圆片在水平面滑动时，晶圆片会通过摩擦力控制滚珠电阻沿着独立转块的内腔转动，进而通过传输导杆对保险环产生电信号作用。
12、所述边缘环壳的外表面与分段转壳内壁的顶部固定连接，所述保险环的外表面与分段转壳的内壁固定连接，所述滚珠电阻外表面的上部与晶圆片的下表面活动连接，所述独立转块的外表面与边缘环壳内腔的顶部转动连接。
13、本专利技术的有益效果如下：
14、1.该装置通过间接施加夹紧力的方式，以橡胶夹板对晶圆片的侧边进行夹持工作，并通过控制底座顶部的托盘抵消晶圆片的重力，所以并不会出现外置压壳直接对晶圆片外表面加压夹紧，导致晶圆片突然承受较大的压力而出现夹痕，甚至被夹断的问题，为夹持工作提供缓冲效果。
15、2.外部的外置压壳在加压后，会通过缓冲压带将铰接夹板夹紧固定住，在铰接夹板的内部，也会通过更加灵敏的微调推力机，将晶圆片的两侧从铰接夹板内部推出，尽可能避免晶圆片的外表面位于橡胶夹板的内部，防止出现打磨顶台无法对橡胶夹板内部大面积的晶圆片进行打磨工作的问题。
16、3.在晶圆片打磨的过程中，磨掉的晶屑会有一部分残留在晶圆片的上表面，并随着打磨工作的进行，对晶圆片的上表面造成本文档来自技高网...
【技术保护点】
1.一种晶圆承载载具，包括打磨顶台(1)，所述打磨顶台(1)的下方设置有支撑部件(3)，所述支撑部件(3)的两侧对称设置有固定部件(6)，其特征在于：
2.根据权利要求1所述的一种晶圆承载载具，其特征在于：所述晶圆片(2)外表面的两侧均延伸至橡胶夹板(75)的内部，所述控制底座(31)的顶部通过圆形托盘与晶圆片(2)的下表面相互挤压，所述水平推板(62)远离转动关节(61)的一端与铰接夹板(71)转轴的外表面固定连接，所述外置压壳(81)的顶部与铰接夹板(71)的外表面滑动连接。
3.根据权利要求2所述的一种晶圆承载载具，其特征在于：所述弯折连板(63)内腔远离转动关节(61)的一端固定连接有充气泵(64)，所述充气泵(64)输出轴的底部滑动连接有内置推盘(65)，所述内置推盘(65)的外表面与外置压壳(81)内壁的顶部滑动连接，所述内置推盘(65)的底部与缓冲压带(82)的上表面滑动连接，所述引流口(87)的底部延伸至铰接夹板(71)的外部。
4.根据权利要求3所述的一种晶圆承载载具，其特征在于：所述控制拉板(5)的一侧与控制底座(31)的外
5.根据权利要求1所述的一种晶圆承载载具，其特征在于：所述填充部件(9)包括贴壁内壳(91)，所述贴壁内壳(91)内腔的右侧滑动连接有扩充内胆(92)，所述扩充内胆(92)的左侧固定连接有固定连板(93)，所述固定连板(93)内腔的中部开设有引流切槽(94)，所述固定连板(93)外表面的左侧对称设置有移动滑板(96)，所述移动滑板(96)的外表面均匀设置有受力推杆(95)。
6.根据权利要求5所述的一种晶圆承载载具，其特征在于：所述移动滑板(96)外表面的一侧与贴壁内壳(91)的内壁滑动连接，所述移动滑板(96)外表面的另一侧与固定连板(93)的外表面滑动连接，且移动滑板(96)外表面远离受力推杆(95)的一侧通过弹簧带与引流切槽(94)的内腔固定连接。
7.根据权利要求6所述的一种晶圆承载载具，其特征在于：所述受力推杆(95)远离移动滑板(96)的一端延伸至贴壁内壳(91)的外部，且受力推杆(95)远离移动滑板(96)的一端与橡胶夹板(75)的内腔转动连接，所述扩充内胆(92)外表面的右侧延伸至贴壁内壳(91)的外部，所述贴壁内壳(91)的外表面与橡胶夹板(75)内壁的中部固定连接。
8.根据权利要求1所述的一种晶圆承载载具，其特征在于：所述内置套环(4)包括边缘环壳(41)，所述边缘环壳(41)内腔的顶部均匀设置有独立转块(42)，所述独立转块(42)内腔的中部转动连接有滚珠电阻(43)，所述滚珠电阻(43)外表面的底部通过连接导线(44)转动连接有传输导杆(45)，所述传输导杆(45)的底端固定连接有保险环(46)。
9.根据权利要求8所述的一种晶圆承载载具，其特征在于：所述边缘环壳(41)的外表面与分段转壳(32)内壁的顶部固定连接，所述保险环(46)的外表面与分段转壳(32)的内壁固定连接，所述滚珠电阻(43)外表面的上部与晶圆片(2)的下表面活动连接，所述独立转块(42)的外表面与边缘环壳(41)内腔的顶部转动连接。
...【技术特征摘要】
1.一种晶圆承载载具，包括打磨顶台(1)，所述打磨顶台(1)的下方设置有支撑部件(3)，所述支撑部件(3)的两侧对称设置有固定部件(6)，其特征在于：
2.根据权利要求1所述的一种晶圆承载载具，其特征在于：所述晶圆片(2)外表面的两侧均延伸至橡胶夹板(75)的内部，所述控制底座(31)的顶部通过圆形托盘与晶圆片(2)的下表面相互挤压，所述水平推板(62)远离转动关节(61)的一端与铰接夹板(71)转轴的外表面固定连接，所述外置压壳(81)的顶部与铰接夹板(71)的外表面滑动连接。
3.根据权利要求2所述的一种晶圆承载载具，其特征在于：所述弯折连板(63)内腔远离转动关节(61)的一端固定连接有充气泵(64)，所述充气泵(64)输出轴的底部滑动连接有内置推盘(65)，所述内置推盘(65)的外表面与外置压壳(81)内壁的顶部滑动连接，所述内置推盘(65)的底部与缓冲压带(82)的上表面滑动连接，所述引流口(87)的底部延伸至铰接夹板(71)的外部。
4.根据权利要求3所述的一种晶圆承载载具，其特征在于：所述控制拉板(5)的一侧与控制底座(31)的外表面固定连接，所述控制拉板(5)的另一侧通过贯穿切槽延伸至分段转壳(32)的外部，且控制拉板(5)远离分段转壳(32)的一端与底部所述弯折连板(63)的外表面固定连接。
5.根据权利要求1所述的一种晶圆承载载具，其特征在于：所述填充部件(9)包括贴壁内壳(91)，所述贴壁内壳(91)内腔的右侧滑动连接有扩充内胆(92)，所述扩充内胆(92)的左侧固定连接有固定连板(93)，所述固定连板(93)内腔的中部开设有引流切槽(94)，所述...
【专利技术属性】
技术研发人员：陆铭，
申请(专利权)人：无锡贝伦思科技有限公司，
类型：发明
国别省市：
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