System.ArgumentOutOfRangeException: 索引和长度必须引用该字符串内的位置。 参数名: length 在 System.String.Substring(Int32 startIndex, Int32 length) 在 zhuanliShow.Bind() 一种芯片自动化检测筛选分料装置制造方法及图纸_技高网

一种芯片自动化检测筛选分料装置制造方法及图纸

技术编号:42689712 阅读:19 留言:0更新日期:2024-09-10 12:38
本发明专利技术公开了一种芯片自动化检测筛选分料装置,包括机架、弹夹仓升降机构、至少两个弹夹仓、Y轴移动机构、出仓推板机构、载板运输机构、XZ轴检测移动机构、视觉检测机构、不良品搬运机构和不良品放置架,可完成芯片的自动上料、自动换仓、芯片的上下料运输、芯片的批量检测筛选、不良品的搬运分料等一系列自动化作业,自动化程度高,运行稳定可靠,大大提高了生产效率,并且设备的体积小,降低了设备的使用成本。此外,本发明专利技术的载板运输机构采用磁性传动方式替代了传统的齿轮传动方式,其可实现无接触式传动,避免传动时产生尘屑,不会影响芯片的清洁度。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及芯片生产设备,更具体地说,是涉及一种芯片自动化检测筛选分料装置


技术介绍

1、在芯片制作完成后,需要对芯片的外观质量进行检测,从而将不良品和良品分出。其中,现有的芯片检测工艺主要包括两个步骤,第一步骤是芯片的转运,现有的转运装置在转移效率、转移装置的适配性等方面还存在不足,以及转移装置会产生尘屑影响芯片外观检测,第二步骤是芯片的检测,在芯片批量检测方面以及检测后批量挑选方面还存在不足。


技术实现思路

1、本专利技术的目的在于克服现有技术中的上述缺陷,提供一种可完成芯片的自动上料、自动换仓、芯片的上下料运输、芯片的批量检测筛选、不良品的搬运分料等一系列自动化作业的芯片自动化检测筛选分料装置。

2、为实现上述目的,本专利技术提供了一种芯片自动化检测筛选分料装置,包括机架、用于通过升降切换不同的弹夹仓的弹夹仓升降机构、用于层叠放置有若干块待检载板的弹夹仓、用于带动出仓推板机构和载板运输机构在y轴方向上移动的y轴移动机构、用于将弹夹仓内的待检载板推出的出仓推板机构、用于载板运输的载板运输机构、用于带动视觉检测机构和不良品搬运机构在x轴方向和y轴方向移动的xz轴检测移动机构、用于对待检载板上的芯片进行视觉检测的视觉检测机构、用于将待检载板上的不良芯片吸取搬运到不良品放置架上的不良品搬运机构、以及用于将存放不良芯片的不良品放置架,所述y轴移动机构安装在机架上,所述出仓推板机构和载板运输机构均安装在y轴移动机构,所述出仓推板机构位于载板运输机构的中部,所述弹夹仓升降机构位于载板运输机构的进料端一边,所述弹夹仓设有至少两个并从上往下依次安装在弹夹仓升降机构上,所述xz轴检测移动机构位于载板运输机构的后侧,所述视觉检测机构和不良品搬运机构均安装在xz轴检测移动机构上并位于载板运输机构的上方,所述不良品放置架位于载板运输机构的前侧。

3、作为优选的,所述载板运输机构包括输送侧板、输送滚轮、滚轮驱动电机、滚轮联动轴、第一磁铁轮、第二磁铁轮、第三磁铁轮和第四磁铁轮,所述输送侧板设有两块并互相平行,所述输送滚轮可转动地安装在两块输送侧板的内侧面,所述滚轮驱动电机安装在两块输送侧板的外侧面,所述滚轮联动轴可转动地水平安装在两块输送侧板的外侧面,所述第一磁铁轮安装在滚轮驱动电机的输出轴上,所述第二磁铁轮和第三磁铁轮分别安装在滚轮联动轴上,所述第四磁铁轮安装在输送滚轮的轮轴上,所述第一磁铁轮与第二磁铁轮磁性配合,所述第三磁铁轮与第四磁铁轮磁性配合,所述滚轮驱动电机能够通过第一磁铁轮和第二磁铁轮带动滚轮联动轴旋转,所述滚轮联动轴通过第三磁铁轮和第四磁铁轮带动输送滚轮旋转。

4、作为优选的,所述弹夹仓升降机构包括弹夹仓升降驱动模组和升降座,所述弹夹仓升降驱动模组与升降座传动连接并带动其上下移动,所述升降座上设有至少两个从上往下依次排列的升降台,所述弹夹仓安装在每个升降台上。

5、作为优选的,所述y轴移动机构包括y轴线性模组和y轴移动板,所述y轴线性模组与y轴移动板传动连接,所述出仓推板机构和载板运输机构均安装在y轴移动板上。

6、作为优选的,所述出仓推板机构包括出仓推板线性模组、出仓推板升降气缸和用于推动待检载板的出仓推块,所述出仓推板线性模组位于载板运输机构的两块输送侧板之间,所述出仓推板升降气缸安装在出仓推板线性模组的传动块上,所述出仓推板线性模组能够带动出仓推板升降气缸沿y轴方向来回移动,所述出仓推板升降气缸与出仓推块传动连接并带动其上下移动。

7、作为优选的,所述xz轴检测移动机构包括模组支架和xz轴线性驱动模组,所述xz轴线性驱动模组通过模组支架安装在机架上。

8、作为优选的,所述视觉检测机构包括检测支架、ccd相机和光源,所述检测支架安装在xz轴检测移动机构的z轴上,所述ccd相机和光源均安装在检测支架上,所述ccd相机位于光源的上方。

9、作为优选的,所述不良品搬运机构包括吸盘支架和不良品吸盘,所述不良品吸盘通过吸盘支架安装在xz轴检测移动机构的z轴上。

10、作为优选的,所述机架的底部设有能够升降调节的支撑脚。

11、与现有技术相比,本专利技术的有益效果在于:

12、1、本专利技术的结构设计合理,设有机架、弹夹仓升降机构、弹夹仓、y轴移动机构、出仓推板机构、载板运输机构、xz轴检测移动机构、视觉检测机构、不良品搬运机构和不良品放置架,可完成芯片的自动上料、自动换仓、芯片的上下料运输、芯片的批量检测筛选、不良品的搬运分料等一系列自动化作业,自动化程度高,运行稳定可靠,大大提高了生产效率,并且设备的体积小,降低了设备的使用成本。

13、2、本专利技术的载板运输机构采用磁性传动方式替代了传统的齿轮传动方式,其可实现无接触式传动,避免传动时产生尘屑,不会影响芯片的清洁度。

本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种芯片自动化检测筛选分料装置,其特征在于:包括机架、用于通过升降切换不同的弹夹仓的弹夹仓升降机构、用于层叠放置有若干块待检载板的弹夹仓、用于带动出仓推板机构和载板运输机构在Y轴方向上移动的Y轴移动机构、用于将弹夹仓内的待检载板推出的出仓推板机构、用于载板运输的载板运输机构、用于带动视觉检测机构和不良品搬运机构在X轴方向和Y轴方向移动的XZ轴检测移动机构、用于对待检载板上的芯片进行视觉检测的视觉检测机构、用于将待检载板上的不良芯片吸取搬运到不良品放置架上的不良品搬运机构、以及用于将存放不良芯片的不良品放置架,所述Y轴移动机构安装在机架上,所述出仓推板机构和载板运输机构均安装在Y轴移动机构,所述出仓推板机构位于载板运输机构的中部,所述弹夹仓升降机构位于载板运输机构的进料端一边,所述弹夹仓设有至少两个并从上往下依次安装在弹夹仓升降机构上,所述XZ轴检测移动机构位于载板运输机构的后侧,所述视觉检测机构和不良品搬运机构均安装在XZ轴检测移动机构上并位于载板运输机构的上方,所述不良品放置架位于载板运输机构的前侧;

2.根据权利要求1所述的一种芯片自动化检测筛选分料装置,其特征在于:所述弹夹仓升降机构包括弹夹仓升降驱动模组和升降座,所述弹夹仓升降驱动模组与升降座传动连接并带动其上下移动,所述升降座上设有至少两个从上往下依次排列的升降台,所述弹夹仓安装在每个升降台上。

3.根据权利要求1所述的一种芯片自动化检测筛选分料装置,其特征在于:所述Y轴移动机构包括Y轴线性模组和Y轴移动板,所述Y轴线性模组与Y轴移动板传动连接,所述出仓推板机构和载板运输机构均安装在Y轴移动板上。

4.根据权利要求1所述的一种芯片自动化检测筛选分料装置,其特征在于:所述出仓推板机构包括出仓推板线性模组、出仓推板升降气缸和用于推动待检载板的出仓推块,所述出仓推板线性模组位于载板运输机构的两块输送侧板之间,所述出仓推板升降气缸安装在出仓推板线性模组的传动块上,所述出仓推板线性模组能够带动出仓推板升降气缸沿Y轴方向来回移动,所述出仓推板升降气缸与出仓推块传动连接并带动其上下移动。

5.根据权利要求1所述的一种芯片自动化检测筛选分料装置,其特征在于:所述XZ轴检测移动机构包括模组支架和XZ轴线性驱动模组,所述XZ轴线性驱动模组通过模组支架安装在机架上。

6.根据权利要求1所述的一种芯片自动化检测筛选分料装置,其特征在于:所述视觉检测机构包括检测支架、CCD相机和光源,所述检测支架安装在XZ轴检测移动机构的Z轴上,所述CCD相机和光源均安装在检测支架上,所述CCD相机位于光源的上方。

7.根据权利要求1所述的一种芯片自动化检测筛选分料装置,其特征在于:所述不良品搬运机构包括吸盘支架和不良品吸盘,所述不良品吸盘通过吸盘支架安装在XZ轴检测移动机构的Z轴上。

8.根据权利要求1所述的一种芯片自动化检测筛选分料装置,其特征在于:所述机架的底部设有能够升降调节的支撑脚。

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【技术特征摘要】

1.一种芯片自动化检测筛选分料装置,其特征在于:包括机架、用于通过升降切换不同的弹夹仓的弹夹仓升降机构、用于层叠放置有若干块待检载板的弹夹仓、用于带动出仓推板机构和载板运输机构在y轴方向上移动的y轴移动机构、用于将弹夹仓内的待检载板推出的出仓推板机构、用于载板运输的载板运输机构、用于带动视觉检测机构和不良品搬运机构在x轴方向和y轴方向移动的xz轴检测移动机构、用于对待检载板上的芯片进行视觉检测的视觉检测机构、用于将待检载板上的不良芯片吸取搬运到不良品放置架上的不良品搬运机构、以及用于将存放不良芯片的不良品放置架,所述y轴移动机构安装在机架上,所述出仓推板机构和载板运输机构均安装在y轴移动机构,所述出仓推板机构位于载板运输机构的中部,所述弹夹仓升降机构位于载板运输机构的进料端一边,所述弹夹仓设有至少两个并从上往下依次安装在弹夹仓升降机构上,所述xz轴检测移动机构位于载板运输机构的后侧,所述视觉检测机构和不良品搬运机构均安装在xz轴检测移动机构上并位于载板运输机构的上方,所述不良品放置架位于载板运输机构的前侧;

2.根据权利要求1所述的一种芯片自动化检测筛选分料装置,其特征在于:所述弹夹仓升降机构包括弹夹仓升降驱动模组和升降座,所述弹夹仓升降驱动模组与升降座传动连接并带动其上下移动,所述升降座上设有至少两个从上往下依次排列的升降台,所述弹夹仓安装在每个升降台上。

3.根据权利要求1所述的一种芯片自动化检测筛选分料装置,其特征在于:所...

【专利技术属性】
技术研发人员:张华莫武强冯文灿
申请(专利权)人:东莞广达智能科技有限公司
类型:发明
国别省市:

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