一种银蚀刻液及其制备方法和应用技术

本申请涉及平板显示技术领域，提供了一种银蚀刻液及其制备方法和应用，银蚀刻液以所述银蚀刻液的总重量为100％计，包括如下重量百分含量的下列组分：无机酸7～9％、有机酸5～7％、有机螯合剂13～18.5％、螯合分散剂8～10％、酸式无机盐15～28％，余量为水。银蚀刻液粘度小，银蚀刻液中具有缓冲作用的组分占比高，蚀刻速率稳定，蚀刻出的效果更好，均一性更好；同时添加有机酸螯合剂和螯合剂分散剂，改善银离子吸附回粘等情况。

【技术实现步骤摘要】

本申请涉及平板显示，尤其涉及一种银蚀刻液及其制备方法和应用。

技术介绍

1、近年来，oled显示器广泛应用于手机和平板显示。金属银以优异的电导率和载流子迁移率被广泛应用于oled显示器的阳极布线(ito/ag/ito)结构中。为了对此进行蚀刻，目前主要使用基于磷酸、硝酸、醋酸和硝酸盐的湿蚀刻液(例如专利公开号为cn107419270a)，但是这些蚀刻液均存在银残留、蚀刻不均、银吸附回沾和银蚀刻速率在使用寿命期间不稳定等问题，而且现有技术的蚀刻液也难以控制非金属氧化物及金属钛的腐蚀速率。

技术实现思路

1、本申请的目的在于提供一种银蚀刻液及其制备方法和应用，旨在解决现有银蚀刻液存在银残留、蚀刻不均、银吸附回沾和银蚀刻速率在使用寿命期间不稳定的问题。

2、为实现上述申请目的，本申请采用的技术方案如下：

3、第一方面，本申请提供一种银蚀刻液，以所述银蚀刻液的总重量为100％计，包括如下重量百分含量的下列组分：

4、无机酸7～9％、有机酸5～7％、有机螯合剂13～18.5％、螯合分本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种银蚀刻液，其特征在于，以所述银蚀刻液的总重量为100％计，包括如下重量百分含量的下列组分：

2.如权利要求1所述的银蚀刻液，其特征在于，以所述银蚀刻液的总重量为100％计，包括如下重量百分含量的下列组分：

3.如权利要求1所述的银蚀刻液，其特征在于，以所述银蚀刻液的总重量为100％计，包括如下重量百分含量的下列组分：

4.如权利要求3所述的银蚀刻液，其特征在于，以所述银蚀刻液的总重量为100％计，包括如下重量百分含量的下列组分：

5.如权利要求1或2所述的银蚀刻液，其特征在于，所述有机螯合剂包括乳酸、丁二酸、苹果酸、柠檬酸、丙二酸以...

【技术特征摘要】

1.一种银蚀刻液，其特征在于，以所述银蚀刻液的总重量为100％计，包括如下重量百分含量的下列组分：

2.如权利要求1所述的银蚀刻液，其特征在于，以所述银蚀刻液的总重量为100％计，包括如下重量百分含量的下列组分：

3.如权利要求1所述的银蚀刻液，其特征在于，以所述银蚀刻液的总重量为100％计，包括如下重量百分含量的下列组分：

4.如权利要求3所述的银蚀刻液，其特征在于，以所述银蚀刻液的总重量为100％计，包括如下重量百分含量的下列组分：

5.如权利要求1或2所述的银蚀刻液，其特征在于，所述有机螯合剂包括乳酸、丁二酸、苹果酸、柠檬酸、丙二酸以及马来酸中的至少一种。

6.如权利要求5所述的银蚀刻液，其特征在于，所述...

【专利技术属性】
技术研发人员：张秋莲，姜丽娜，宁萌萌，顾维忠，张德香，孔晓东，
申请(专利权)人：四川江化微电子材料有限公司，
类型：发明
国别省市：