【技术实现步骤摘要】
本申请涉及平板显示，尤其涉及一种银蚀刻液及其制备方法和应用。
技术介绍
1、近年来，oled显示器广泛应用于手机和平板显示。金属银以优异的电导率和载流子迁移率被广泛应用于oled显示器的阳极布线(ito/ag/ito)结构中。为了对此进行蚀刻，目前主要使用基于磷酸、硝酸、醋酸和硝酸盐的湿蚀刻液(例如专利公开号为cn107419270a)，但是这些蚀刻液均存在银残留、蚀刻不均、银吸附回沾和银蚀刻速率在使用寿命期间不稳定等问题，而且现有技术的蚀刻液也难以控制非金属氧化物及金属钛的腐蚀速率。
技术实现思路
1、本申请的目的在于提供一种银蚀刻液及其制备方法和应用，旨在解决现有银蚀刻液存在银残留、蚀刻不均、银吸附回沾和银蚀刻速率在使用寿命期间不稳定的问题。
2、为实现上述申请目的，本申请采用的技术方案如下：
3、第一方面，本申请提供一种银蚀刻液，以所述银蚀刻液的总重量为100％计，包括如下重量百分含量的下列组分：
4、无机酸7～9％、有机酸5～7％、有机螯合剂13～18.5％、螯合分散剂8～10％、酸式无机盐15～28％，余量为水。
5、作为一种可能的设计，以所述银蚀刻液的总重量为100％计，银蚀刻液包括如下重量百分含量的下列组分：
6、无机酸8％、有机酸6％、有机螯合剂13～18.5％、螯合分散剂9％、酸式无机盐15～28％，余量为水。
7、作为一种可能的设计，以所述银蚀刻液的总重量为100％计，银蚀刻液包括如下重量百
8、硝酸7～9％、醋酸5～7％、丁二酸2.5～3.5％、柠檬酸11～15％、聚羧酸8～10％，硫酸氢钠22～28％，余量为水。
9、作为一种可能的设计，以所述银蚀刻液的总重量为100％计，银蚀刻液包括如下重量百分含量的下列组分：
10、硝酸8％、醋酸6％、丁二酸3％、柠檬酸13％、聚羧酸9％，硫酸氢钠25％，余量为水。
11、作为一种可能的设计，所述有机螯合剂包括乳酸、丁二酸、苹果酸、柠檬酸、丙二酸以及马来酸中的至少一种。
12、作为一种可能的设计，所述有机螯合剂由丁二酸、苹果酸、柠檬酸以及丙二酸中至少两种混合而成。
13、作为一种可能的设计，所述无机酸包括硝酸；优选地，所述有机酸包括醋酸；优选地，所述螯合分散剂包括聚羧酸；优选地，所述酸式无机盐包括磷酸二氢钠和/或硫酸氢钠。
14、第二方面，本申请提供一种银蚀刻液的制备方法，包括以下步骤：
15、向水中依次加入无机酸，然后加入有机螯合剂、螯合分散剂以及酸式无机盐，搅拌至全部溶解，形成溶液；
16、向溶液中加入有机酸，搅拌至全部混合均匀，得到混合物；
17、对混合物进行过滤。
18、作为一种可能的设计，过滤涉及两次过滤，第一过滤的滤芯直径为0.4～0.6μm，第二次过滤的滤芯直径为0.2μm。
19、本专利技术的有益效果为：
20、本专利技术公开的银蚀刻液粘度小，银蚀刻液中具有缓冲作用的组分占比高，蚀刻速率稳定，蚀刻出的效果更好，均一性更好；同时添加有机酸螯合剂和螯合剂分散剂，改善银离子吸附回粘等情况。
本文档来自技高网...【技术保护点】
1.一种银蚀刻液，其特征在于，以所述银蚀刻液的总重量为100％计，包括如下重量百分含量的下列组分：
2.如权利要求1所述的银蚀刻液，其特征在于，以所述银蚀刻液的总重量为100％计，包括如下重量百分含量的下列组分：
3.如权利要求1所述的银蚀刻液，其特征在于，以所述银蚀刻液的总重量为100％计，包括如下重量百分含量的下列组分：
4.如权利要求3所述的银蚀刻液，其特征在于，以所述银蚀刻液的总重量为100％计，包括如下重量百分含量的下列组分：
5.如权利要求1或2所述的银蚀刻液，其特征在于，所述有机螯合剂包括乳酸、丁二酸、苹果酸、柠檬酸、丙二酸以及马来酸中的至少一种。
6.如权利要求5所述的银蚀刻液，其特征在于，所述有机螯合剂由丁二酸、苹果酸、柠檬酸以及丙二酸中至少两种混合而成。
7.如权利要求1或2所述的银蚀刻液，其特征在于，所述无机酸包括硝酸；优选地，所述有机酸包括醋酸；优选地，所述螯合分散剂包括聚羧酸；优选地，所述酸式无机盐包括磷酸二氢钠和/或硫酸氢钠。
8.一种权利要求1-7任一项所述银蚀刻液的
9.根据权利要求8所述的制备方法，其特征在于，过滤涉及两次过滤，第一过滤的滤芯直径为0.4～0.6μm，第二次过滤的滤芯直径为0.2μm。
10.一种权利要求1-7任一项所述银蚀刻液或权利要求8或9所述的制备方法制得的银蚀刻液在平板显示OLED中应用，其特征在于，所述银蚀刻液用于蚀刻OLED阳极层。
...【技术特征摘要】
1.一种银蚀刻液，其特征在于，以所述银蚀刻液的总重量为100％计，包括如下重量百分含量的下列组分：
2.如权利要求1所述的银蚀刻液，其特征在于，以所述银蚀刻液的总重量为100％计，包括如下重量百分含量的下列组分：
3.如权利要求1所述的银蚀刻液，其特征在于，以所述银蚀刻液的总重量为100％计，包括如下重量百分含量的下列组分：
4.如权利要求3所述的银蚀刻液，其特征在于，以所述银蚀刻液的总重量为100％计，包括如下重量百分含量的下列组分：
5.如权利要求1或2所述的银蚀刻液，其特征在于，所述有机螯合剂包括乳酸、丁二酸、苹果酸、柠檬酸、丙二酸以及马来酸中的至少一种。
6.如权利要求5所述的银蚀刻液，其特征在于，所述...
【专利技术属性】
技术研发人员：张秋莲，姜丽娜，宁萌萌，顾维忠，张德香，孔晓东，
申请(专利权)人：四川江化微电子材料有限公司，
类型：发明
国别省市：
还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。